多功能扫描探针技术指标

噪音水平：ICON Head<30 pm RMS, FastScan Head<40 pm RMS扫描范围： ICON Head 90μm×90μm×10μm, FastScan Head 35μm×35μm×3μm附加功能1.AFM形貌成像（包含接触，轻敲，峰值力轻敲模式）2.MFM磁力显微镜3.EFM静电力显微镜4.KPFM表面电势显微镜5.LFM摩擦力显微镜6.TUNA遂穿电流模式7.PFM压电响应显微镜（含附加高压模块）8.STM扫描隧道显微镜9.H/C MODEL升降温模块10.PF-QNM定量纳米力学11.RAMP力曲线12.FORCE-VOLUME力曲线阵列13.液下成像14.EC-AFM电化学模块（包含升温模块）15.SECM扫描电化学显微镜16.Photoconductive AFM光电流检测17.纳米刻蚀功能。

全国范围内，扫描探针显微镜的附加功能配备最全的设备之一，包含形貌功能，磁学，电学，力学，电化学等，其中的扫描电化学功能，是目前唯一对外开的实验室。

用于扫描探针显微镜的控制输出及数据采集分析。

多功能扫描仪是由良田科技自主研发、生产的一种低碳、环保的新型办公用品，它使用超便捷性结构设计，通过USB供电，采用CMOS成像原理，1秒钟就能将我们的纸质文档实现即时的录入，通过OCR识别能快速将图像转换成word、Excel文件，快速保存，修改，管理各种文件。多功能扫描仪具有1秒高速扫描、可拍摄纸张文件和三维实物、快速OCR文字识别、定时拍摄、画面录像、PDF导出、联机打印、网络传真、USB即插即用、便携折叠式结构等独特功能。

探针台分类

探针台从操作上来区分有：手动，半自动，全自动

从功能上来区分有：温控探针台，真空探针台（超低温探针台），RF探针台，LCD平板探针台，霍尔效应探针台，表面电阻率探针台

经济手动型

根据客户需求定制

chuck尺寸：4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可选）

X-Y移动行程：4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可选）

chuck Z轴方向升降10mm（选项）方便探针与样品快速分离

显微镜：金相显微镜、体式显微镜、单筒显微镜（可选）

显微镜移动方式：立柱环绕型、移动平台型、龙门结构型（可选）

探针座：有0.7um、2um、10um精度可选，磁性吸附带磁力开关

可搭配Probe card测试

适用领域：晶圆厂、研究所、高校等

半自动型

chuck尺寸800mm/600mm

X,Y电动移动行程200mm/150mm

chuck粗调升降9mm，微调升降16mm

可搭配MITUTOYO金相显微镜或者AEC实体显微镜

针座摆放个数6～8颗

显微镜X-Y-Z移动范围2"x2"x2"

可搭配Probe card测试

适用领域：8寸/6寸Wafer、IC测试之产品

电动型

chuck尺寸1200mm，平坦度土1u（不锈钢或镀金）

X,Y电动移动行程300mm x 300mm

chuck粗调升降9mm，微调升降16mm，微调精度土1u

可搭配MITUTOYO晶像显微镜或者AEC实体显微镜

针座摆放个数8～12颗

显微镜X-Y-Z移动范围2“x2”x2“

材质：花岗岩台面 不锈钢

可搭配Probe card测试

适用领域：12寸Wafer、IC测试之产品

LCD半自动探针台

机械手臂取放片

电动、键入坐标寻位置

量测尺寸（mm）：1800x1600、1300x1200、1200x1000

LCD手动探针台

白炽灯或者LED整面背光

TFT元件特性、Driver IC量测分析

机台尺寸（mm）：800x600、500x400、300x300

PCB量测探针台（TDR）

高频测试探头GSG / GS / SG

频率10GHZ / 40GHZ / 50GHZ / 67GHZ

机台尺寸同LCD 探针台

太阳能产业探针台（Solar Cell 量测系统）

量测软体:

I-V /C-V Curve, Isc, Voc,

Pmax, Imax, Vmax, RS, Fill Factor,

Power Convert Efficiency

采用KEITHLEY Source Meter

可加配任意品牌之太阳光模拟器