垂直退火炉技术指标

8inch硅晶圆高温氧化与SOI晶圆高温加固；工作温度：600~1200 ℃；恒温区长度：860 mm；恒温区控温精度：±1℃；升降温速度：max：5 ℃/min；氮气（大流量）：Max：30 SLM(升/分钟); 氮气（小流量）： Max：300 SCCM(毫升/分钟)；氧气（大流量）：Max：20 SLM(升/分钟)；氧气（小流量）： Max：1000 SCCM(毫升/分钟)；氢气： Max：20 SLM(升/分钟)；Trans_LC Carrier： 氮气(1 SLM)(升/分钟)；氧化层均匀性：干氧300 Å,1000 Å,1500 Å2%；湿氧0.5 µm,1.0 µm&2.0 µm2%；金属要求： Cu/Cr/Fe/Ni/Al/Zn/Na/Ca5E10 atmos/CM2；颗粒要求：Particle 30ea (0.16µm) per wafer。

用于8inch硅晶圆高温氧化与SOI晶圆高温加固；工作温度：600~1200 ℃；恒温区控温精度：±1℃；升降温速度：max：5 ℃/min；可通入氮气、氧气、氢气： 、Trans_LC Carrier等工艺气体；氧化层均匀性：干氧、湿氧氧化层均优于2%；表面金属5E10 atmos/CM2；表面颗粒：Particle 30ea (0.16µm) per wafer。 2100433B

退火炉按热源分类主要有电热炉、燃煤退火炉、燃油退火炉、天然气退火炉、煤气退火炉等，其中以自备煤气发生炉所产煤气退火炉应用最广泛。煤气退火窑减去了燃烧室，直接利用煤气烧嘴在加热室喷射燃烧。为了降低能耗，煤气退火窑往往配有换热系统，将空气转换为助燃热风进行煤气的助燃。

热处理炉分为退火炉、淬火炉、回火炉、正火炉、调质炉，主要用于大型碳钢、合金钢零件的退火；表面淬火件回火；焊件消除应力退火、时效等热处理工艺。加热方式有电加热、燃油、燃气、燃煤、热风循环。退火炉是一种新型换热设备。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60%。

真空退火炉卧式真空退火炉

用途：本系列卧式真空退火炉主要应用于特种材料、不锈钢、硒钢片铁芯、贵金属零件、银铜复合铆钉及片件的真空退火处理。

设备特点：

1. 本设备专用于小零件等在真空状态下的退火；

2. 炉罐密封性好，有效的避免了工件在退火处理中的表面氧化、生锈，提高了处理质量；

3. 保温炉体可向后移动，退火完成后，在保持真空状态下提高冷却速度 。

真空退火炉井式真空退火炉

用途：井式真空退火炉系列产品采用预抽真空气体保护方式工作，操作时先将炉内抽至一定真空度后炉内充入高纯氮或氨分解气体进行保护加热，从而达到少无氧化加热、无脱碳光亮的目的。由于搅拌风机的使用，该炉具有较高的炉温均匀性。设备主要应用于机械零件、硅钢片、铜材、紫铜、线材等的无氧化光亮退火。

设备特点：

1、加热元件均布炉膛内，分布合理

2、炉盖可设有热风循环装置，可使炉罐内的气体及温度均匀；

3、可配真空泵抽气，增加换气速度，气体更纯净；

4、有保护气体，经退火后产品无氧化，消除加工应力，提高铁心磁性能，降低铁损；

5、炉温控制采用PID自动调功平滑控温。