CMOS芯片半自动探针台

探针测试。

2.1 探针台（针座，探针等），1套 1) 手动探针台，宽大的测试空间，能对晶圆、芯片及单器件进行IV/CV及S参数测试 2) 载片台直径：6英寸，平坦度：±5um 3) 载片台整体采用气浮移动方式，快速移动范围：185×235 mm，可单手控制自由移动，包含锁死装置，千分尺精细调节方式，调节范围：25×25mm 4) 载片台快速旋转角度：360°，精细调节范围：±5° 5) 载片台具备两个独立的附加载台，陶瓷吸波材料制作，可用于吸附射频校准片 6) 载片台采用完全独立的真空孔吸附，真空孔直径0.5um；可分区吸附样品，并具备各分区独立真空控制开关 7) 平台包含三挡抬升方式，包括接触位（0）、分离位（300μm）和装载位（3mm），且有相应阻尼缓冲设计 8) 平台高度可调整范围25mm；平台大小可同时容纳10个直流针座或者4个射频针座。 9) 搭配筒式显微镜，可后仰90度抬头，增大平台可操作空间 10) 显微镜系统的最大放大倍率400倍，可连续变焦 11) 显微镜XY方向移动范围：50 x 50 mm 12) 显示器尺寸：21吋 13) 4套射频针座，精确度±2μm，重复性±2μm。

探针台分类

探针台从操作上来区分有：手动，半自动，全自动

从功能上来区分有：温控探针台，真空探针台（超低温探针台），RF探针台，LCD平板探针台，霍尔效应探针台，表面电阻率探针台

经济手动型

根据客户需求定制

chuck尺寸：4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可选）

X-Y移动行程：4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可选）

chuck Z轴方向升降10mm（选项）方便探针与样品快速分离

显微镜：金相显微镜、体式显微镜、单筒显微镜（可选）

显微镜移动方式：立柱环绕型、移动平台型、龙门结构型（可选）

探针座：有0.7um、2um、10um精度可选，磁性吸附带磁力开关

可搭配Probe card测试

适用领域：晶圆厂、研究所、高校等

半自动型

chuck尺寸800mm/600mm

X,Y电动移动行程200mm/150mm

chuck粗调升降9mm，微调升降16mm

可搭配MITUTOYO金相显微镜或者AEC实体显微镜

针座摆放个数6～8颗

显微镜X-Y-Z移动范围2"x2"x2"

可搭配Probe card测试

适用领域：8寸/6寸Wafer、IC测试之产品

电动型

chuck尺寸1200mm，平坦度土1u（不锈钢或镀金）

X,Y电动移动行程300mm x 300mm

chuck粗调升降9mm，微调升降16mm，微调精度土1u

可搭配MITUTOYO晶像显微镜或者AEC实体显微镜

针座摆放个数8～12颗

显微镜X-Y-Z移动范围2“x2”x2“

材质：花岗岩台面 不锈钢

可搭配Probe card测试

适用领域：12寸Wafer、IC测试之产品

LCD半自动探针台

机械手臂取放片

电动、键入坐标寻位置

量测尺寸（mm）：1800x1600、1300x1200、1200x1000

LCD手动探针台

白炽灯或者LED整面背光

TFT元件特性、Driver IC量测分析

机台尺寸（mm）：800x600、500x400、300x300

PCB量测探针台（TDR）

高频测试探头GSG / GS / SG

频率10GHZ / 40GHZ / 50GHZ / 67GHZ

机台尺寸同LCD 探针台

太阳能产业探针台（Solar Cell 量测系统）

量测软体:

I-V /C-V Curve, Isc, Voc,

Pmax, Imax, Vmax, RS, Fill Factor,

Power Convert Efficiency

采用KEITHLEY Source Meter

可加配任意品牌之太阳光模拟器