抽气机

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为空气抽气机之一种，是用来抽出密闭容器内气体的机器。一般有手摇和电动两种，主要构造与吸取式抽水机相似。其动作原理与抽水机相似，只不过被抽出的物质为空气。

抽气机是用来抽出密闭容器内气体的机器。一般有手摇和电动两种，主要构造与抽水机相似。其工作原理与抽水机相似，只不过被抽出的物质为空气。而预压抽气机重要用于二次抽气时的预压、定位，防止抽气后电芯表皮起皱。2100433B

如图所示，在每个阳极筒内发生的物理过程，可分解成六个步骤展开说明。

1)图中A表示在低压下，当阴极和阳极间加上高压时，引起场致发射。

2)图中B表示在电、磁场作用下电子作螺旋运动。

3)图中C表示电子与气体分子碰撞产生正离子和二次电子，引起雪崩效应。

4)图中D表示正离子轰击钛阴极，溅散出钛原子落在阳极筒上，形成新鲜钛膜，也有的落在阴板外围区(β区)。

5)图中E表示活性气体与新鲜钛膜反应形成化合物，化学吸附在阳极筒内壁。隋性气体被电离，离子在电场作用下轰击阴极过程中被排出。其排除方式为：(1)离子直接打入阴极表面内或β区(如图中a)；斜射的离子切入阴极表面，离子和钛一起被掀掉，埋葬在β区(图中b)；(2)离子没打入阴极内，从阴极得一电子恢复为中性原子或分子，反射到阳极内表面被埋掉(图中c)，这叫“荷能中性粒子反射”。

6)图中F表示对于氢，由于其质量小，氢离子轰击钛板的溅射产额甚低，氢离子 H2 或 H 打到钛板上与电子复合变成H原子，然后扩散入钛的晶格内，形成TIH固溶体而被排出。常温下这种固溶体中H2的浓度为0.05%，当温度高于250oC以上时，便又开始分解放出氢。钛大量吸氢后。由于放热反应钛板温度上升，达到250oC以后，除重新释放氢之外并导致钛板晶格膨胀造成龟裂。通常需加大钛板的散热能力来改善溅射离子泵对氢的排除能力。要提高对氢的抽速，需保持钛板表面清洁，选用晶格常数较大的β-Ti或钛合金作为阴极板，或引入与氢可比拟的氩含量。因氩的溅散产额高，可提高对氢的抽速。

1 真空系统的组成与设计概述

1.1 真空系统的形式与组成

1.1.1 真空系统的形式

1.1.2 真空系统的组成

1.2 真空机组

1.2.1 低真空抽气机组

1.2.2 中真空抽气机组

1.2.3 高真空抽气机组

1.2.4 超高真空抽气机组

1.3 典型真空系统

1.3.1 粗真空系统

1.3.2 低真空系统

1.3.3 中真空系统

1.3.4 高真空系统

1.3.5 超高真空系统

1.4 真空系统设计概述

1.4.1 真空系统设计的已知条件

1.4.2 真空系统设计计算的一般程序

1.4.3 真空系统设计的基本原则及注意事项

2 真空系统组成元件

3 真空密封连接

4 真空中气体的流动状态及判别

5 真空管路的流导计算

6 真空系统抽气时间与压力计算

10 真空系统结构设计与清洁卫生

11 真空系统的安装调试与操作维修2100433B