超高真空镀膜机技术指标

本底真空度：优于1.0×10-10Torr，最高加热温度：800 ℃。

制备高质量超薄金属薄膜，如0.3nm厚的钴。 2100433B

真空镀膜机操作程序具体操作时请参照该设备说明书

和设备上仪表盘指针显示及各旋钮下的标注说明。

① 检查真空镀膜机各操作控制开关是否在"关"位置。

② 打开总电源开关，设备送电。

③ 低压阀拉出。开充气阀，听不到气流声后，启动升钟罩阀，钟罩升起。

④ 安装固定钨螺旋加热子。把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。把铝丝穿放在螺旋加热子内。清理钟罩内各部位，保证无任何杂质污物。

⑤ 落下钟罩。

⑥ 启动抽真空机械泵。

⑦ 开复合真空计电源（复合真空计型号：Fzh-1A)。

a.左旋钮“1”顺时针旋转至指向2区段的加热位置。

b.低真空表“2”内指针顺时针移动，当指针移动至110mA时，左旋钮"1"旋转至指向2区段测量位置。

⑧ 当低真空表“2”内指针再次顺时针移动至6.7Pa时，低压阀推入。这时左旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。

⑨ 真空镀膜机开通冷却水，启动扩散泵，加热40min。

⑩ 低压阀拉出。重复一次⑦动作程序：左下旋钮“1”转至指向2区段测量位置。低真空表“2”内指针顺时针移动，当指针移动至6.7Pa时，开高压阀（阀杆顺时针旋转）。

⑪ 等低真空表“2”内指针右移动至0.1Pa时，开规管灯丝开关。

a. 发射、零点测量钮“9”旋转至指向发射位置。

b. 左下旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。

⑫ 旋转发射调节钮“4”，使高压真空表“5”内指针指向5。

⑬ 发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向零点位置。

⑭ 旋转零点调节钮“10”，让高压真空表“5”内指针指向0位置。

⑮ 发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向测量位置。

⑯ 旋转标准调节钮“3”，让高压真空表“5”内指针指向10。

⑰ 旋转“倍加器”开关钮“8”至指向10-12，当高压真空表“5”内指针逆时针左移超过1时，再把“倍加器”开关旋钮“8”旋转至指向10-3。

⑱ 当高压真空表“5”内指针逆时针移动超过6.7Pa时，开工件旋转钮开关，钟罩内被镀件PVDF膜转动。

⑲ 开蒸发钮开关。把电流分插塞插入蒸发电极分配孔内（设有1、 2、 3、 4孔，可插入任意一孔）。

⑳ 右手旋转右侧调压器手轮，慢慢旋转升压。

a. 从视镜窗口观察钨螺旋加热子的加热温度颜色变化情况。

b. 当钨螺旋加热子颜色变成黄橙色，铝丝开始熔化时，左手操作挡板钮，移开钨螺旋上方挡板。

c. 铝丝全部熔化蒸发，挡板回原位。

d. 右手旋转调压器手轮回零位。第一次蒸镀工作完成。

21. 如果再想蒸镀一次（为了增加电极金属层厚度）：把电流分插塞拨出插入另一个电极分配孔。重复⑳操作动作。

22. 关闭规管灯丝开关。关闭高压阀（逆时针转手柄）。关闭工件旋转。关闭蒸发。旋转机械泵钮至指向扩散泵位置。

23. 低压阀拉出。钟罩充气。充气一段时间，当没有气.声时，升钟罩。

24. 钨螺旋加热子内加铝丝。PVDF薄膜调换另一面向下 （原下面已镀一层铝膜面向上）。紧固在转动圆盘上。

25. 落钟罩。开机械泵。

a. 左下旋钮“1”旋转至指向2区段测量位置。

b. 当低压真空表“2”内指针顺时针移动到6.7Pa时，低压阀推入。

c. 左下旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。

d. 当低压真空表“2”内指针顺时针移动到6.7Pa时，开高压阀。旋钮“1”旋转至指向2区段测量位置。

e. 当低压真空表“2”内指针顺时针移动到指向0.1Pa时，开规管灯丝。

f. 由⑰开始重复操作至⑳ 。

26. PVDF薄膜蒸镀完铝层后，按顺序关闭规管灯丝、高压阀、机械泵、扩散泵。把低压阀拉出。钟罩充气，充气完毕后升钟罩。取出工件，做好钟罩内清理工作。

a. 落下钟罩。

b. 开机械泵，抽3~5min，停机械泵。

c. 切断供电总开关。

d. 1h后再关闭冷却水。操作全部完成。

27. 正常生产中，如遇到突然停电时，要立即切断高真空测量，关闭规管灯丝，高压阀、低压阀拉出。来电后，先让机械泵启动工作3~5min后，再转入正常生产。

真空镀膜机电控柜操作

1. 开水泵、气源。

2. 开总电源。

3. 开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。

4. 开机械泵、预抽，开涡轮分子泵电源、并启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。

5. 观察涡轮分子泵读数到达250以后，关预抽，开前级泵和高真空阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能打开电子枪电源。

真空镀膜机DEF-6B操作

1. 总电源。

2. 同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源：按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关，延时、电源及保护灯亮，三分钟后延时及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。

3. 开高压，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA，灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摆动。

真空镀膜机关机顺序

1. 关高真空表头、关分子泵。

2. 待分子泵显示到50时，依次关高阀、前级、机械泵，这期间约需40分钟。

3. 到50以下时，再关维持泵。