超高纯硅酸制备及控制系统

该装备采取多级自动化的树脂交换，实现集成电路所需的PPM量级超高纯硅酸的制备，为了保证制备硅酸批次的重复性与稳定性，以及降低交换、再生、冲洗过程的纯水及酸的用量，采用电导率与pH计在线自动检测与信息反馈，促使流量计和变频泵自动调节，实现工艺过程的自动控制。 2100433B

1. 离子交换器直径1.5m，不锈钢布水器，交换塔体内衬四氟乙烯。 2. 分体式电磁流量计精度±0.05%，材质要求316不锈钢，流速范围0-15m/s，误差小于1%。 3. 在线pH计，测量范围2-12，精度在测量范围内±0.05，耐工况压力0.5MPa。 4. 在线电导率仪，测量范围0.01-5000µS/cm，精度在测量范围内±1.0 %电极材质要求316不锈钢 5. 配备PLC自控系统，实现交换与硫酸再生过程自动终点判定，最终硅酸pH值范围2.8~3.1，再生清洗后电导率低于50 us/cm； 6. 该设备生产硅酸中K、Na、Mg、Cu、Pb、Ti等主要金属离子含量低于2ppm。

第1章 工业纯水制备概论

1.1 水的纯度及水质标准

1.2 工业纯水的制备技术

1.3 工业纯水制备中的水源选择及制备工艺

1.4 原水及工业纯水的水质分析

参考文献

第2章 工业纯水的制备工艺流程

2.1 工业纯水制备中的基本工艺

2.2 不同等级工业纯水的制备工艺特点

参考文献

第3章 高纯水制备中的固液分离技术及设备

3.1 水源水的凝聚与絮凝

3.2 澄清原理及设备

3.3 过滤原理及设备

3.4 活性炭吸附技术

3.5 水质软化方法

参考文献

第4章 工业纯水制备中的膜法脱盐技术

4.1 电渗析脱盐机理及其各种过程

4.2 离子交换膜

4.3 电渗析器

4.4 电渗析脱盐工艺过程设计

4.5 反渗透脱盐机理

4.6 反渗透膜和膜组件

4.7 反渗透脱盐工艺过程设计

4.8 反渗透脱盐系统的故障分析及设备维护

参考文献

第5章 工业纯水制备中的离子交换树脂脱盐技术

5.1 离子交换树脂的种类及结构

5.2 离子交换树脂的脱盐机理

5.3 离子交换树脂的交换特性及脱盐率

5.4 离子交换脱盐工艺计算

5.5 离子交换柱的设计

5.6 离子交换树脂的再生

参考文献

第6章 工业纯水制备中的微滤技术

6.1 微滤在高纯水制备中的作用

6.2 微滤膜的种类及性能

6.3 微孔过滤设备

6.4 微滤膜的再生

参考文献

第7章 工业纯水制备中的超滤技术

7.1 超滤过程的基本特性

7.2 超滤膜的性质及制备

7.3 超滤过程的影响因素

7.4 超滤设备及流程

7.5 超滤过程的设计计算

参考文献

第8章 工业纯水制备中的灭菌消毒技术

8.1 超纯水中的热原种类及特点

8.2 臭氧灭菌消毒技术

8.3 臭氧发生设备及其维护

8.4 臭氧灭菌工艺的设计计算

8.5 紫外线杀菌技术

8.6 紫外灯的功率和灭菌效率的关系

8.7 紫外线杀菌的影响因素

参考文献

第9章 工业纯水制备中的水质监控

9.1 工业纯水制备过程对水质的要求

9.2 预处理过程中的水质监控

9.3 脱盐过程中的水质监控

9.4 微滤和超滤过程中的水质监控

9.5 灭菌消毒过程中的水质监控

9.6 水站出水口的水质监控

参考文献

第10章 工业纯水的应用

10.1 纯水在电子工业中的应用

10.2 纯水在医药工业中的应用

10.3 纯水在能源工业中的应用

10.4 纯水在化工行业中的应用

10.5 纯水在其他工业中的应用

参考文献2100433B

本书主要介绍工业纯水的各种制备工艺、技术要点、设备等核心内容，包括工业纯水的等级及应用范围、水源选择、水质分析、工艺流程及特点，目前最常用的各种工业纯水制备技术（预处理、膜法脱盐、离子交换树脂、微滤、超滤、灭菌消毒、水质监控等）及其在工业中的应用。内容新颖，力求反映国内外纯水生产和检测中的新技术、新工艺、新进展，并紧密结合国内技术应用现状，有一定的实用性。

本书可供从事纯水制备研究、生产、检测的工程技术人员使用，也可供高等院校相关专业师生参考。

第1章 工业纯水制备概论

1.1 水的纯度及水质标准

1.2 工业纯水的制备技术

1.3 工业纯水制备中的水源选择及制备工艺

1.4 原水及工业纯水的水质分析

参考文献

第2章 工业纯水的制备工艺流程

2.1 工业纯水制备中的基本工艺

2.2 不同等级工业纯水的制备工艺特点

参考文献

第3章 高纯水制备中的固液分离技术及设备

3.1 水源水的凝聚与絮凝

3.2 澄清原理及设备

3.3 过滤原理及设备

3.4 活性炭吸附技术

3.5 水质软化方法

参考文献

第4章 工业纯水制备中的膜法脱盐技术

4.1 电渗析脱盐机理及其各种过程

4.2 离子交换膜

4.3 电渗析器

4.4 电渗析脱盐工艺过程设计

4.5 反渗透脱盐机理

4.6 反渗透膜和膜组件

4.7 反渗透脱盐工艺过程设计

4.8 反渗透脱盐系统的故障分析及设备维护

参考文献

第5章 工业纯水制备中的离子交换树脂脱盐技术

5.1 离子交换树脂的种类及结构

5.2 离子交换树脂的脱盐机理

5.3 离子交换树脂的交换特性及脱盐率

5.4 离子交换脱盐工艺计算

5.5 离子交换柱的设计

5.6 离子交换树脂的再生

参考文献

第6章 工业纯水制备中的微滤技术

6.1 微滤在高纯水制备中的作用

6.2 微滤膜的种类及性能

6.3 微孔过滤设备

6.4 微滤膜的再生

参考文献

第7章 工业纯水制备中的超滤技术

7.1 超滤过程的基本特性

7.2 超滤膜的性质及制备

7.3 超滤过程的影响因素

7.4 超滤设备及流程

7.5 超滤过程的设计计算

参考文献2100433B