CCD平面度测试仪

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平面度测量是指被测实际表面对其理想平面的变动量。

平面度误差是将被测实际表面与理想平面进行比较，两者之间的线值距离即为平面 度误差值;或通过测量实际表面上若干点的相对高度差，再换算以线值表示的平面度误差值。

平面度误差测量的常用方法有如下几种:

1、平晶干涉法:用光学平晶的工作面体现理想平面，直接以干涉条纹的弯曲程度确定被测表面的平面度误差值。主要用于测量小平面，如量规的工作面和千分尺测头测量面的平面度误差。

平面是由直线组成的，因此直线度测量中直尺法、光学准直法、光学自准直法、重力法等也适用于测量平面度误差。测量平面度时，先测出若干截面的直线度，再把各测点的量值按平面度公差带定义(见形位公差)利用图解法或计算法进行数据处理即可得出平面度误差。也有利用光波干涉法和平板涂色法测量平面误差的。

光波干涉法常利用平晶进行，图为测量所得的不同干涉条纹。图中a的干涉条纹是直的,而且间距相等,只在周边上稍有弯曲。这说明被检验表面是平的，但与光学平晶不平行,而且在圆周部分有微小的偏差。图中b的干涉条纹弯曲而且间隔不相等，表明被检验表面是球形的,平晶有微小倾斜。条纹弯曲度约为条纹间距的1.5倍,表示平面度误差为1.5×0.3μm=0.45μm。图中c的干涉条纹呈圆形，同样表明被检验表面是球形表面。将条纹数目乘以所用光束波长的一半，即得所求的平面误差为1.5×0.3μm=0.45μm。图中d的干涉条纹成椭圆形排列，说明被检验表面是桶形的。可以把干涉图案作为被检验表面的等高线,因此可以画出该表面的形状。这种方法仅适宜测量高光洁表面，测量面积也较小，但测量精确度很高。平面是由直线组成的，因此直线度测量中直尺法、光学准直法、光学自准直法、重力法等也适用于测量平面度误差。测量平面度时，先测出若干截面的直线度，再把各测点的量值按平面度公差带定义(见形位公差)利用图解法或计算法进行数据处理即可得出平面度误差。也有利用光波干涉法和平板涂色法测量平面误差的。

光波干涉法常利用平晶进行，图为测量所得的不同干涉条纹。图中a的干涉条纹是直的,而且间距相等,只在周边上稍有弯曲。这说明被检验表面是平的，但与光学平晶不平行,而且在圆周部分有微小的偏差。图中b的干涉条纹弯曲而且间隔不相等，表明被检验表面是球形的,平晶有微小倾斜。条纹弯曲度约为条纹间距的1.5倍,表示平面度误差为1.5×0.3μm=0.45μm。图中c的干涉条纹呈圆形，同样表明被检验表面是球形表面。将条纹数目乘以所用光束波长的一半，即得所求的平面误差为1.5×0.3μm=0.45μm。图中d的干涉条纹成椭圆形排列，说明被检验表面是桶形的。可以把干涉图案作为被检验表面的等高线,因此可以画出该表面的形状。这种方法仅适宜测量高光洁表面，测量面积也较小，但测量精确度很高。

2、打表测量法:打表测量法是将被测零件和测微计放在标准平板上，以标准平板作为测量基准面，用测微计沿实际表面逐点或沿几条直线方向进行测量。打表测量法按评定基准面分为三点法和对角线法:三点法是用被测实际表面上相距最远的三点所决定的理想平面作为评定基准面，实测时先将被测实际表面上相距最远的三点调整到与标准平板等高;对角线法实测时先将实际表面上的四个角点按对角线调整到两两等高。然后用测微计进行测量，测微计在整个实际表面上测得的最大变动量即为该实际表面的平面度误差。

3、液平面法:液平面法是用液平面作为测量基准面，液平面由 "连通罐"内的液面构成，然后用传感器进行测量。此法主要用于测量大平面的平面度误差。

4、光束平面法:光束平面法是采用准值望远镜和瞄准靶镜进行测量，选择实际表面上相距最远的三个点形成的光束平面作为平面度误差的测量基准面。

5、激光平面度测量仪:激光平面度测量仪用于测量大型平面的平面度误差 。

6、利用数据采集仪连接百分表测量平面度误差的方法 。

测量仪器:偏摆仪、百分表、数据采集仪。

测量原理:数据采集仪可从百分表中实时读取数据，并进行平面度误差的计算与分析，平面度误差计算工式已嵌入我们的数据采集仪软件中，完全不需要人工去计算繁琐的数据，可以大大提高测量的准确率。

1)无需人工用肉眼去读数，可以减少由于人工读数产生的误差;

2)无需人工去处理数据，数据采集仪会自动计算出平面度误差值;

3)测量结果报警，一旦测量结果不在平面度公差带时，数据采集仪就会自动报警。