表面清洗新技术

第1章 用离子液体去除表面污染物 001

1.1 引言 002

1.2 表面清洁度等级 003

1.3 离子液体 004

1.3.1 背景 004

1.3.2 缩写和术语 006

1.3.3 基本特性 008

1.3.4 热力学性质 012

1.3.5 挥发性 015

1.3.6 影响溶解性的因素 015

1.3.7 热力学性质的建模和预测 016

1.3.8 黏度 017

1.3.9 电导率和高真空分析应用 020

1.3.10 毒性问题 021

1.3.11 数据汇编 023

1.3.12 深共熔溶剂 024

1.4 用离子液体进行清洗的原理 026

1.4.1 基本原理 026

1.4.2 成本因素 027

1.5 离子液体清洗的优缺点 028

1.5.1 优点 029

1.5.2 缺点 029

1.6 应用 030

1.6.1 半导体的清洗 030

1.6.2 刷洗 031

1.6.3 机器零件的清洗 032

1.6.4 电抛光 034

1.6.5 使用离子液体和超临界气体的清洗 034

1.6.6 含油沙粒和颗粒类物质的清洗 035

1.6.7 有害物质的净化 035

1.6.8 微生物污染 035

1.6.9 原位清洗 036

1.6.10 艺术品的清洗 036

1.6.11 工业应用 037

1.6.12 消费品方面的应用 039

1.7 小结 040

参考文献 040

第2章 微乳液清洁法 063

2.1 引言 064

2.2 微乳液的类型、配方和性质 064

2.2.1 配方 064

2.2.2 微乳液的性能 071

2.2.2.1 增溶 071

2.2.2.2 界面张力 072

2.2.2.3 接触角和润湿性 073

2.3 表面清洁的基本过程及原理 074

2.4 用微乳液清洁表面和去除污染物 077

2.5 微乳液清洁剂的设计和评价方法 078

2.6 微乳液清洁的应用 079

2.6.1 清洗油污染的钻屑 080

2.6.2 油基钻井液转换成水基钻井液时钻井孔的清洁 082

2.6.3 油气井井筒附近的清洗 084

2.6.3.1 裸眼完井中去除油基流体滤饼 085

2.6.3.2 套管井完井中消除地层损害 088

2.6.4 其它清洗方面的应用 089

2.6.4.1 废水的清洁和微乳液泡沫浮选 089

2.6.4.2 微乳液清洗受污染的土壤和地下水 090

2.6.4.3 微乳液清洁纺织用品 091

2.6.4.4 使用非水溶剂的微乳液清洗 092

2.6.4.5 微乳液清洗建筑物外部 092

2.6.4.6 微乳液清洗壁画和艺术品 092

2.6.4.7 微乳液清洗原油油藏 093

2.6.4.8 微乳液清洗页岩和其它岩层中的压裂凝胶 094

2.7 总结与展望 094

参考文献 095

第3章 双流体喷雾技术清除固体微粒 101

3.1 引言 102

3.2 颗粒与黏附力 103

3.3 清洗工艺窗口 103

3.3.1 理论预测 104

3.3.2 实验研究 107

3.4 颗粒去除技术概况 109

3.5 双流体喷雾清洗 110

3.5.1 系统描述 110

3.5.2 液滴冲击能量 111

3.5.2.1 冲击固体表面 111

3.5.2.2 皇冠的形成 112

3.5.2.3 冲击液体膜 113

3.6 双流体喷雾进展 115

3.7 先进喷雾技术开发 120

3.7.1 喷头的开发 120

3.7.2 液滴能量密度 121

3.7.3 致损阈值 122

3.8 总结和展望 126

参考文献 127

第4章 利用微生物清除表面污染物 133

4.1 引言 134

4.2 表面污染和清洁度等级 134

4.3 背景 134

4.4 微生物清洗原理 136

4.5 清洗系统 137

4.5.1 零件清洗机 137

4.5.2 清洗溶液和微生物成分 138

4.5.3 微生物的应用 139

4.5.4 污染物的种类 139

4.5.5 基质的种类 140

4.5.6 零件清洗 140

4.5.7 成本 142

4.6 微生物清洗的优点和缺点 143

4.6.1 优点 143

4.6.2 缺点 144

4.7 应用 144

4.7.1 零件清洗 145

4.7.2 去除油脂 145

4.7.3 油田硫酸盐还原菌 146

4.7.4 细菌的表征和表面清洁度的监测 146

4.7.5 汞的生物去除 147

4.7.6 伤口清创 147

4.7.7 消毒和清洗 147

4.7.8 历史艺术品与建筑物的清洗 148

4.7.9 家庭和机构应用 149

4.8 小结 150

参考文献 150

第5章 大型表面清洁度检验——确立对接触角技术的信心 157

5.1 背景 158

5.1.1 范围 158

5.1.2 表面清洁度和表面能 158

5.2 方法介绍 161

5.2.1 传统和新型数字化接触角技术 161

5.2.1.1 侧面方法（半角、液滴形状分析和蛇形法） 162

5.2.1.2 一种新型的数字化自上而下法 164

5.2.1.3 反射角法 165

5.2.2 文献或工业领域建议的标准参照物 166

5.2.3 标准参照物材料 167

5.3 优点和缺点 168

5.3.1 人员培训 168

5.3.2 方法比较 169

5.4 结果 169

5.4.1 成像选择举例 169

5.4.2 性能比较举例 170

5.4.3 人员培训举例 170

5.4.4 方法比较举例 170

5.5 应用 172

5.6 未来发展 172

参考文献 173

索引 177 2100433B

本书详细阐述了一系列新的清洗技术，按专题分为离子液体清洗、微乳液清洗、双流体喷雾清洗和微生物清洗等，每个专题都对表面污染物的影响、表征与清除进行了详细的论述。另外，随着科技的发展，对表面清洁度的要求越来越高，书中专门列有一章介绍大表面的清洁度检验方法。这些新型清洗技术有别于传统的清洗剂清洗技术，除了应用于传统的工业清洗和家用清洗外，还能应用于高精密仪器设备的清洗、半导体晶片和集成电路的清洗、艺术品及建筑物的清洗、微生物的去除以及土壤修复等。

本书对从事清洗研究和应用的科技人员和相关工程技术人员有很好的参考价值。

清洗后基板表面 taper角小于15度。