AlN/自持金刚石膜结构高频声表面波滤波器的研制基本信息

声表面波（SAW）滤波器正广泛地应用于军事、民用等各个领域。随着新一代通讯技术的高速发展，迫切需求高频、高功率、低损耗SAW器件。为提高SAW滤波器的频率，选用压电薄膜配合高声速基片材料是最重要和有效的解决途径。本申请提出的AlN压电薄膜/自持金刚石厚膜基板结构是人们可预期的能够实现最优性能的结构。AlN具有优良的压电性、较小的声波损耗、高声表面波传播速度和较高的机电耦合系数。而金刚石是所有物质中声传播速度最快的材料，还具有非常高的弹性模量、最高的导热性和优良的耐热性。本申请提出的用自持金刚石厚膜做基片材料，具有自身突出特色。实现这样结构需要突破高品质AlN压电薄膜的制备和低成本、高速沉积金刚石厚膜两个技术瓶颈。我们在金刚石膜厚膜以及AlN、GaN薄膜的制备与应用领域积累了丰富的研究经验，已解决了高品质金刚石厚膜制备技术等关键难题。有这样良好的工作基础做保证，有信心能完成本器件的研制工作。 2100433B

自持转速指启动过程中，燃气轮机升速到无需外力就能维持旋转的最低转速。

中文名称

自持转速

英文名称

self-sustaining speed

定　　义

启动过程中，燃气轮机升速到无需外力就能维持旋转的最低转速。

应用学科

电力（一级学科），汽轮机、燃气轮机（二级学科）

类金刚石薄膜通常又被人们称为DLC薄膜，是英文词汇Diamond Like Carbon的简称，它是一类性质近似于金刚石，具有高硬度.高电阻率.良好光学性能等，同时又具有自身独特摩擦学特性的非晶碳薄膜。碳元素因碳原子和碳原子之间的不同结合方式，从而使其最终产生不同的物质：金刚石（diamond）—碳碳以 sp3键的形式结合；石墨（graphite）—碳碳以sp2键的形式结合；而如同绪论里所述类金刚石（DLC）—碳碳则是以sp3和 sp2键的形式结合，生成的无定形碳的一种亚稳定形态，它没有严格的定义，可以包括很宽性质范围的非晶碳，因此兼具了金刚石和石墨的优良特性；所以由类金刚石而来的DLC膜同样是一种亚稳态长程无序的非晶材料，碳原子间的键合方式是共价键，主要包含sp2和sp3两种杂化键，而在含氢的DLC膜中还存在一定数量的C-H键。

由两个相同或不相同的原子轨道沿轨道对称轴方向相互重叠而形成的共价键，叫做σ键。σ键是原子轨道沿轴方向重叠而形成的，具有较大的重叠程度，因此σ键比较稳定。σ键是能围绕对称轴旋转，而不影响键的强度以及键跟键之间的角度（键角）。根据分子轨道理论，两个原子轨道充分接近后，能通过原子轨道的线性组合，形成两个分子轨道。其中，能量低于原来原子轨道的分子轨道叫成键轨道，能量高于原来原子轨道的分子轨道叫反键轨道。以核间轴为对称轴的成键轨道叫σ轨道，相应的键叫σ键。以核间轴为对称轴的反键轨道叫σ*轨道，相应的键叫σ*键。分子在基态时，构成化学键的电子通常处在成键轨道中，而让反键轨道空着。

σ键是共价键的一种。它具有如下特点：

第一点，σ键有方向性，两个成键原子必须沿着对称轴方向接近，才能达到最大重叠；第二点，成键电子云沿键轴对称分布，两端的原子可以沿轴自由旋转而不改变电子云密度的分布；第三点，σ键是头碰头的重叠，与其它键相比，重叠程度大，键能大，因此，化学性质稳定。共价单键是σ键，共价双键有一个σ键，π键，共价三键由一个σ键，两个π键组成。

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