ALD原子层沉积系统技术指标

沉积材料：Al2O3、ZnO 工艺温度：最高500℃ 样品尺寸：4英寸向下兼容 沉积速率： Al2O3 10nm/125cycle ZnO 20nm/125cycle。

主要功能：用于沉积单原子层超薄膜的气相沉积设备。通过精确控制媒质的流量以及使用清除媒质，保证了一次只沉积一层指定要求的单原子层超薄膜。

地表的岩石，经风化、剥蚀成岩屑，又经搬运、沉积而形成的沉积物；在沉积物未压紧硬结成岩石之前，呈现的松散状态，称为沉积层，即“土”。

沉积层也可以指惰性膜沉积在石英砂粒外围的物质。沉积层有细粒物质、死粘土和灰分，牢固地聚集在砂粒上形成一层不平的外表层，使砂粒流动性能降低，型砂传递能量的效率减小，砂型紧实度不匀。沉积层比重比石英比重(2.65)要小。故型砂中沉积层的积累是否已经超过规定极限，可以从型砂试验的变化中看出来。沉积层不但裹附在砂粒上，同时也在煤粉分解物的焦粒上出现。沉积层使型砂水分需要量增加，烧结点降低，铸件粘砂。

世界大洋整体或其各大区沉积层的最主要特点只在为数不多的著作中曾加论述。л.З.列文和B.E.哈茵最先尝试建立世界大洋沉积一火山岩系厚度分布及地层体积示意图。从示意图可以看出，沉积层的特点是：厚度和产状的分布极为复杂，地层范围和建造组成变化多端，而古生代后沉积占优势。只是在太平洋底，平缓产出的沉积物才以薄盖层覆盖洋壳“玄武岩层”。在世界大洋的其余部分，沉积物充填形成于联合古陆地壳不同演化阶段的不同成因类型沉积盆地。这些盆地属于五种基本构造类型：地槽凹陷，次生地槽山间凹陷，造山期山间凹陷，克拉通边缘拗陷，大洋边缘拗陷。

地槽凹陷、造山期凹陷、克拉通边缘拗陷以及许多次生地槽凹陷都与太平洋活动带和地中海活动带的边缘海及内海有联系。环绕太平洋(岛弧)、印度洋、大西洋和北冰洋以及南极洲分布的，或为成因属于海滨地槽的大洋边缘拗陷，或为介于典型大洋边缘拗陷和克拉通边缘拗陷之间的过渡亚类型。后者见于北冰洋和南极洲的边缘。

与地壳演化的总进程相适应，在世界大洋的不同地区沉积层的厚度及其地层体积也是各不相同的。

沉积层根据其形成原因，地点，成分等主要可分为以下类型：

①湖泊的沉积层

湖泊有淡水湖和咸水湖之分。淡水湖的湖岸地区的沉积物，主要以砾石、砂土或轻亚粘土为主；在湖心地区，主要以粘性土和淤泥为主；湖岸一般地质条件较好，但是为了环境保护，不宜在湖建厂。成水湖的沉积物，以石膏，岩盐及碳酸盐类为主，岩层性质复杂，在沉积物中夹有淤泥层，地基条件很差。

②沼泽沉积层

沼泽沉积层主要是以腐朽植物的残余堆积而成，有的有明显的植物纤维，一般它是由淤泥和淤泥土质以及部分粘土和细砂组成，它具有不规则的层理泥炭的有机物质含量达60%以上，泥炭的含水量达100%以上，压缩性很大，选厂时应避开它。若避不开时，就要加强排水措施，或挖去泥炭层、或打桩到坚硬基层上。总之要查明情况，采取措施。

③海相沉积层

海洋一般分为四个区带：海岸带，水深为0至20米，是海水高低潮之间的地带；大陆架即浅海带，水深为20至200米；大陆坡次深海带，水深为200至3000米；深海带，水深为3000至6000米。很久以前不少国家已经在利用海岸带建厂，所以在此主要介绍海岸带的沉积层。海岸带的沉积物，主要是粗碎屑及砂组成，粗碎屑物的厚度不大，具有交错层理，物质纯洁而均匀，较紧密，但是在河流人海口处，常有淤泥沉积。海岸带的沉积物，在垂直和水平方向变化较大，在勘探时要求探点布置密些。

海岸的稳定性也要特别注意，海浪冲击海岸要求岩石坚硬、岩层坡度平缓，最好是水平，若岩层坡度大或者成垂直，就容易产生滑坡和崩塌。为了使海岸不受海浪冲击，可作突堤、防浪堤和海塘等。 2100433B