微机电系统MEMS干涉测量方法进展

反干涉齿轮集微机电系统密码锁是一种用于要害系统的机电一体化装置,通过访问意图密码与锁体内部固化的机械授权密码比对鉴别实现安全保证.研究了三相四对极轴向磁场微电机的步进控制逻辑,建立了鉴码系统的动力学模型,分析了系统的模态和不同摩擦参数下的动力学响应.分析表明,密码锁实现鉴码功能不仅要考虑驱动器的电气控制,还要考虑鉴码轴系的动态特性.通过控制棘轮棘爪处的摩擦力矩可有效提高微机电系统密码锁的鉴码性能.

微机电系统是源于微电子加工技术，融合了微机械制造、传感、致动及微控制于一体的系统。微机电系统融合了力、电、流体、光、磁、热等多个物理域，建模与仿真技术的迅速发展，讨论了目前有关微机电系统建模与仿真的基本理论和方法。

根据《微机电系统》课程的特点,对其教学内容、教学方式和实验教学等方面进行教学探讨,以提高课程的教学效果。

精密位移量的激光干涉测量方法及实验 一、实验目的： 1．了解激光干涉测量的原理 2．掌握微米及亚微米量级位移量的激光干涉测量方法 3．了解激光干涉测量方法的优点和应用场合 二、实验原理 本实验采用泰曼－格林（twyman-green）干涉系统，t－g干涉系统是著名的迈克尔逊 白光干涉仪的简化。用激光为光源，可获得清晰、明亮的干涉条纹，其原理如图1所示。 he-ne激光器 扩束准直系统 m1（参考镜） m2（测量镜） 干涉条纹 l1 l2 d bs l /2 图1t－g干涉系统 激光通过扩束准直系统l1提供入射的平面波（平行光束）。设光轴方向为z轴，则此平 面波可用下式表示： ikzaezu)((1) 式中a平面波的振幅，2k为波数，激光波长 此平面波经半反射镜bs分为二束，一束经参考镜m1，反射后成为参考光束，其复振 幅u

物体微小振动光学干涉测量方法的研究 作者：张涛 学位授予单位：北京交通大学 本文读者也读过(9条) 1.王小芳四波耦合微振动光学测量的研究[学位论文]2006 2.周晓辉.杨耀权.卢海霞.杨丽一种非接触振动测量方法的设计与实现[期刊论文]-仪器仪表与分析监测2005(4) 3.苏铁基于dsp控制的光子美容机的研制[学位论文]2010 4.雷和平非线性光干涉测量微小振动方法的研究[学位论文]2009 5.郭广平.计欣华.秦玉文.杜家吉微振动测量的光外差干涉仪[会议论文]-2000 6.王冬云.杨国光镜像光衍射技术及其在测量中的应用[期刊论文]-光学学报2001,21(9) 7.于浩ccd相机测量对比度的校正方法研究[学位论文]201

正交偏振激光干涉振动测量方法与实验研究文档信息

根据劈尖等厚干涉原理，采用读数显微镜作为新的测量手段，研制了磁致伸缩系数测量装置，精确测量铽镝铁合金和q235碳素结构钢在弱磁场中的磁致伸缩系数．该装置具有测量方法简单、直观，且精度很高的特点．

根据劈尖等厚干涉原理，采用读数显微镜作为新的测量手段，研制了磁致伸缩系数测量装置，精确测量铽镝铁合金和q235碳素结构钢在弱磁场中的磁致伸缩系数．该装置具有测量方法简单、直观，且精度很高的特点．

根据光学中杨氏双缝干涉实验原理设计出超声波双缝干涉测量声速的实验装置.运用波的干涉原理,将声波接收器接收到的干涉信号输入到示波器,通过示波器来显示干涉极大和干涉极小现象,利用分光计的双游标读数原理测量干涉极大和干涉极小对应的θ角.通过实验数据计算得出干涉极大和极小对应的声速分别为(336.2±0.3)m/s,(338.8±0.2)m/s.

实验十一干涉法测量压电陶瓷特性 一、实验目的 1.通过实验掌握激光测长仪的基本工作原理。 2.掌握搭设激光光路基本方法与技巧。 3.学会用干涉方法测量微小位移。 二、实验原理 测量位移是迈克尔逊干涉仪的典型应用，测量原理如图11—1所示: 图11－1 由ne—ne激光器发出的光经分光镜g后，光束被分成两路，反射光射向参考镜m1（固定），透射光射向测 镜m2 （可移动），两路光分别经m1、m2反射后，在分光镜处会合，在接受屏p处产生干涉条纹，通过给压电陶瓷 电压使m2 的移动，干涉条纹发生变化，由于干涉条纹明暗变化一次，相当于测量镜m2移动了入/2，若条纹变化n次， 位移l由下 式确定： l=n?入/2（11 1） 所以通过测出条纹的变化数就可计算出位移量，这就是激光测长仪的基本原理。 三、实验仪器

设计研制了一种小体积、低成本、可扩展的低电压非硅基底1×4微机电系统光开关。开关单元由电磁驱动,微反射镜绕直径100μm转轴转动,驱动电压为5v,开关时间小于2ms,插入损耗小于0.84db,具有断电自锁功能。器件构造工艺采用微细电火花加工技术。用有限元法分析受力和磁场,进行结构优化设计,并着重介绍开关的实现及性能

介绍了微机电系统的基本概念、医疗用微机电系统的研究和几种典型的应用实例。

用激光干涉仪系统进行精确的线性测量 — 最佳操作及实践经验 1简介 本文描述的最佳操作步骤及实践经验主要针对使用激光干涉仪校准机床如车床、铣床以及 坐标测量机的线性精度。但是，文中描述的一般原则适用于所有情况。与激光测量方法相 关的其它项目，如角度、平面度、直线度和平行度测量不包括在内，用于实现0.1微米即 0.1ppm以下的短距离精度测量的特殊方法（如真空操作）也不包括在内。 微米是极小的距离测量单位。（1微米比一根头发的1/25还细。由于太细，所以肉眼无 法看到，接近于传统光学显微镜的极限值）。可实现微米级及更高分辨率的数显表的广泛 使用，为用户提供了令人满意的测量精度。尽管测量值在小数点后有很多位数，但并不表 明都很精确。（在许多情况下精度比显示的分辨率低10-100倍）。实现1微米的测量分 辨率很容易，但要得到1微米的测量精度需要特别注意一些细节。本文

分束干涉光学间隔测量中干涉条纹级次的一种识别方法

实验室测量金属的线胀系数普遍采用的是光杠杆法,经实验证明光杠杆法存在偶然误差大、测量精度低、占地空间大等问题,通过利用劈尖的等厚干涉法能够很好地解决光杠杆法存在的问题.新方法具有温升范围小、加热功率低、测量精度高、操作简单直观、占地空间小等优点,便于实际教学中教师的讲解、示教和演示,有利于学生综合应用知识,提高综合设计实验的能力.

用白光干涉仪自动测量金刚石砂轮表面形貌时,为了获得更精准的干涉区域,在干涉仪所采集到的一系列图像中,首先通过计算相邻的2张图像各像素灰度值的变化从而得到一系列新的灰度图像。然后计算每帧新图像的非零点像素的均值和极值,据此计算得出用于确定干涉区域的阈值以实现自动扫描。实验表明:此方法运算速度较快,而且对局部区域的干涉更敏感,可以更精确地搜索出干涉区间。采用步进电机和压电陶瓷二级驱动,可以在100s内实现100μm范围内扫描区间的自动获取并实现垂直方向的数据采集。

首先阐述了数字散斑干涉法测量面内及离面变形量的原理和装置结构,并将其应用于铝合金材料的热变形测量中;结合数字图像处理技术,获得代表变形量的数字散斑干涉条纹图。结果表明数字散斑干涉测量法具有实时性强、结构简单、全场,非接触测量等优点。

分析了用相干光测量细丝直径的原理和方法,分别用钠光和氦氖气体激光测量并计算出同一金属细丝的直径,计算和分析了测量误差,研究和比较了两种光源对测量误差的影响.

基于微机电系统开关的四位移相器设计

文章对偏振模色散对光通信系统的影响作了简要说明,详细介绍了干涉法测量偏振模色散的原理并分别说明了干涉法测量偏振模色散的两种方式。结合实际opgw光缆线路,给出了测试结果,测试结果表明,该光缆线路偏振模色散性能良好。

文章编号:025322239(2007)082143025 基于适度光反馈自混合干涉技术的振动测量3 禹延光　郭常盈　叶会英 (郑州大学信息工程学院,郑州450052) 摘要:　光反馈自混合干涉技术是一种新浮现的有别于传统双光束干涉的一类新的测试技术。为了在适度光反馈 下进行振动的精密测量,提出了一种基于适度光反馈自混合干涉技术的振动测量方法。经对光反馈自混合干涉信 号条纹分析,发现通过选定合适的光反馈水平及激光器线宽展宽因数,可以得到锯齿干涉条纹。这种干涉信号不 仅包含振动幅度信息也包含振动方向信息。该振动测量方法利用锯齿干涉条纹的特点,首先通过条纹记数实现大 范围振幅粗测,具有半波长位移分辨力;然后基于适度光反馈下小数条纹的特点,给出了小于半波长位移测量的线 性表达式,从而实现位移的精测。仿真计算表明,该方法可以实现大量程高分辨力振动位

运用光的干涉理论,分别讨论了点光源在楔形平板情况下的干涉条纹及光强分布,并推导出测量平板楔角的一种新方法。运用该方法时平板楔角进行了测量,获得了精确的结果(不确定度<10-5)。