ZSH5型自动砂轮划片机控制系统的设计与实现
介绍了ZSH5型自动砂轮划片机控制系统的设计路线和框架结构,以及一些重要功能模块的实现方法和特点。总结了一些精密半导体专用设备的开发经验,为设计和开发机电设备的控制系统提供一些思路和方法。
ZSH-Ⅲ 型自动砂轮划片机
】zsh-ⅲ型自动砂轮划片机是用于半导体生产企业的精密专用设备。本文介绍了zsh-ⅲ型自动砂轮划片机的设计思想、设计方案、主要技术关键、主要技术参数以及存在的问题。该设备已经小批量生产。
砂轮划片机显微镜自动聚焦系统的设计与分析
阐述了砂轮划片机显微镜自动聚焦系统的硬件构成和软件设计,在砂轮划片机上开发了一套自动对焦搜索算法,控制ccd、镜头沿光轴移动以实现焦距的自动调节。在软件设计上采用了图像处理手段实现镜头聚焦位置的自动搜索和评价函数对图象清晰度的评价,并在砂轮划片机的现场测试中证明了此种方法的可行性。
砂轮划片机刃具修整数学模型分析
从划片机的划切机理出发建立数学模型;用数学的方法定性、定量分析划切过程中未修整刃具对划切质量的影响。摸索刃具修整的合理方式,提出刃具内孔配合间隙的实用数据。
伺服系统在砂轮划片机中的应用
介绍了伺服系统在砂轮划片机中的应用情况。根据zsh5型划片机的机械结构和工作台的应用特点,详细说明了zsh5型划片机伺服系统选型时的理论计算方法和具体步骤。同时,介绍了伺服系统的一些主要特点,总结了伺服系统中一些重要参数的设置方法和调试经验,包括电子齿轮比、速度环和位置环参数等。
砂轮划片机划切技术的研究
砂轮划片机划切技术的研究和应用直接关系到设备应用的好坏。对划切中关键的参数主轴转速、划切速度、基片固定、刀片等进行了系统分析研究,具有指导性地提出了选择该类参数的方法。
602(M)型砂轮划片机的微机改造
602和602(m)型砂轮划片机是美国mai公司八十年代初的产品,它是该公司1006型自动砂轮划片机的前身,其水平相当于日本disco公司的dad—2h/5型划片机。我国半导体器件厂在八十年代初引进了大量该种划片机,如今役龄已十年有余,许多机器已从生产线上退了下来。总的说来,该机的机械部分尚能运转,而电气部分故障频繁,甚至无法正常工作。我们对机电部某元器件厂的两台由美国mai公司搭送,且一直未开起来过的602型砂轮划片机进行了微机改造,采用mcs—51系列单片机控制,不但使机器恢复了正常工作,而且使操作更加方便,自动化程度更高,机器还具备了各种保护功能,经过在元器件厂的使用证明,对602(m)型砂轮划片机的微机改造是成功的。
J51150/ZF型自动砂轮划片机的电控系统
j51150/zf型自动砂轮划片机是国营西北机器厂承担的国家“七·五”攻关项目之一,是该厂在“七·五”散件引进组装、消化吸收、主要软件移植基础上的翻版产品。该机集八十年代高科技于一身、光机电一体化、达到了国外八十年代中期水平,完全可
浅析砂轮划片机划切工艺
介绍了砂轮划片机的划切原理以及砂轮刀具的构成,并对影响划切品质的因素进行了分析,结合以往实验结果,得到了砂轮划片机的常规划切工艺,既通过优化划切参数和对刀片的选择,达到减小崩裂,提高划切品质的效果。
J51150?ZF型自动砂轮划片机的电控系统
J51150?ZF型自动砂轮划片机的电控系统
砂轮划片工艺的实践与提高
介绍了砂轮划片的工艺优化过程,同时给出了在一定工作条件下切割硅晶圆、特别是切割陶瓷基片所选用的适用刀片和相应的工艺参数,并对刀片优化进行了初步的探讨。
砂轮划片机θ向机构和传动误差分析
对砂轮划片机θ向机构及齿轮传动误差产生原因进行了分析。对消隙齿轮θ向机构中的回程误差和传动误差进行了估算,并对验证数据进行了分析,所述方法及计算实例对解决工程实际问题提供依据和建议。
砂轮划片机主轴系统装配精度对划切槽质量的影响
分析砂轮划片机主轴系统的装配精度,使得主轴刀盘面在工作台笛卡尔坐标系中的位置精度以及在安装砂轮刀片后,划切晶圆对划切槽质量造成的影响,如何调整刀盘的精度,降低崩边和裂角,提高划切槽的质量。
对1006A型砂轮划片机电气控制系统的可靠性分析
1006a型砂轮划片机是美国mai公司70年代末、80年代初研制出的大规模集成电路加工设备。它只所以能在国际上有广泛的市场,除它的功能强、精度高外,工作可靠性、稳定性高也是它的主要特点。从这次我厂引进该机散件并通过组装和消化其技术资料,我们深有体会。
砂轮划片机z向工作台机械结构关键技术的研究
通过滚动直线导轨应用理论和应用技术的研究及滚珠丝杠副应用技术的分析,针对砂轮划片机z向工作台运动特点,设计了z向工作台机械结构,并分析了系统的刚性误差,通过检测和实际使用验证了设计结果。
划片机金刚石砂轮刀片性能研究
以b1a系列砂轮刀片为例,对金刚石砂轮刀片进行力学分析与强度计算,并利用有限元分析软件ansys建立砂轮刀片回转模型,得到刀片的应力云图和变形图。通过仿真分析,砂轮刀片孔壁处所受切向应力影响远大于径向应力,砂轮刀片的最大应力发生在孔的内壁处,而在砂轮外圆处切向应力较小。通过输入不同转速对比,外圆切向应力随转速提高而增加,破坏趋势也明显。
蜗杆砂轮磨齿机砂轮的全自动动平衡
蜗杆砂轮磨齿机砂轮的全自动动平衡
激光修锐砂轮的单片微机控制研究
激光修锐超硬磨料砂轮方法具有工效高、无损耗、易实现自动化等优点。利用mcs51系列的单片机,研究了激光修锐的在线控制系统;该系统具有在线检测、监控、报警、自动修锐等功能
利用单片机技术控制砂轮磨损的检测与修整
在磨床数控化改造中利用单片机技术控制砂轮磨损的检测与修整,以提高磨削加工的生产效率和加工质量。
新型扁平件分拣系统自动供件台控制系统的设计与实现
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单片机控制的磨床砂轮平衡装置的研究
本文研究了一种利用增重平衡原理设计的磨床砂轮平衡装置,给出了硬件结构和软件设计框图。
S35气动砂轮机砂轮杆跳动的分析与控制
气动砂轮机结构简单,造价低廉,因此在工业中得到广泛的使用。砂轮杆运转时的跳动直接影响到砂轮机的使用性能和寿命,故制造厂家在整机装配后均要做砂轮杆跳动检查。
基于98单片机红外遥控通信的智能化砂轮自动平衡系统
介绍了作者研制的一种新型智能化砂轮在线自动平衡系统。该系统以98单片机为控制核心,通过检测砂轮旋转时不平衡量引起的振动信号并进行数据处理,由自动搜索控制算法确定不平衡量的大小,然后通过98单片机双机红外遥控通信的方式,控制跟随砂轮高速旋转的平衡头内的平衡块移动对不平衡量进行补偿。经过初步实验表明,该系统显著降低了砂轮不平衡量引起的振动,获得了良好的平衡效果,并具有广阔的应用前景。
金刚笔(碟片)修整砂轮型面的轨迹分析
用金刚笔(碟片)修整成形砂轮是成形磨削中的一个技术环节。对于金刚笔(碟片)修整成形砂轮中机床运动轨迹曲线进行了分析,认为轨迹线为工件轮廓线的法向偏置线,并对实例进行分析。
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职位:二级结构工程师
擅长专业:土建 安装 装饰 市政 园林