602(M)型砂轮划片机的微机改造
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602和602(M)型砂轮划片机是美国MAI公司八十年代初的产品,它是该公司1006型自动砂轮划片机的前身,其水平相当于日本DISCO公司的DAD—2H/5型划片机。我国半导体器件厂在八十年代初引进了大量该种划片机,如今役龄已十年有余,许多机器已从生产线上退了下来。总的说来,该机的机械部分尚能运转,而电气部分故障频繁,甚至无法正常工作。我们对机电部某元器件厂的两台由美国MAI公司搭送,且一直未开起来过的602型砂轮划片机进行了微机改造,采用MCS—51系列单片机控制,不但使机器恢复了正常工作,而且使操作更加方便,自动化程度更高,机器还具备了各种保护功能,经过在元器件厂的使用证明,对602(M)型砂轮划片机的微机改造是成功的。
砂轮划片机划切技术的研究 砂轮划片机划切技术的研究
砂轮划片机划切技术的研究和应用直接关系到设备应用的好坏。对划切中关键的参数主轴转速、划切速度、基片固定、刀片等进行了系统分析研究,具有指导性地提出了选择该类参数的方法。
浅析砂轮划片机划切工艺 浅析砂轮划片机划切工艺
介绍了砂轮划片机的划切原理以及砂轮刀具的构成,并对影响划切品质的因素进行了分析,结合以往实验结果,得到了砂轮划片机的常规划切工艺,既通过优化划切参数和对刀片的选择,达到减小崩裂,提高划切品质的效果。
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介绍了伺服系统在砂轮划片机中的应用情况。根据zsh5型划片机的机械结构和工作台的应用特点,详细说明了zsh5型划片机伺服系统选型时的理论计算方法和具体步骤。同时,介绍了伺服系统的一些主要特点,总结了伺服系统中一些重要参数的设置方法和调试经验,包括电子齿轮比、速度环和位置环参数等。
砂轮划片机θ向机构和传动误差分析 砂轮划片机θ向机构和传动误差分析
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对砂轮划片机θ向机构及齿轮传动误差产生原因进行了分析。对消隙齿轮θ向机构中的回程误差和传动误差进行了估算,并对验证数据进行了分析,所述方法及计算实例对解决工程实际问题提供依据和建议。
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阐述了砂轮划片机显微镜自动聚焦系统的硬件构成和软件设计,在砂轮划片机上开发了一套自动对焦搜索算法,控制ccd、镜头沿光轴移动以实现焦距的自动调节。在软件设计上采用了图像处理手段实现镜头聚焦位置的自动搜索和评价函数对图象清晰度的评价,并在砂轮划片机的现场测试中证明了此种方法的可行性。
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1006a型砂轮划片机是美国mai公司70年代末、80年代初研制出的大规模集成电路加工设备。它只所以能在国际上有广泛的市场,除它的功能强、精度高外,工作可靠性、稳定性高也是它的主要特点。从这次我厂引进该机散件并通过组装和消化其技术资料,我们深有体会。
砂轮划片工艺的实践与提高 砂轮划片工艺的实践与提高
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介绍了砂轮划片的工艺优化过程,同时给出了在一定工作条件下切割硅晶圆、特别是切割陶瓷基片所选用的适用刀片和相应的工艺参数,并对刀片优化进行了初步的探讨。
砂轮划片机主轴系统装配精度对划切槽质量的影响 砂轮划片机主轴系统装配精度对划切槽质量的影响
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以b1a系列砂轮刀片为例,对金刚石砂轮刀片进行力学分析与强度计算,并利用有限元分析软件ansys建立砂轮刀片回转模型,得到刀片的应力云图和变形图。通过仿真分析,砂轮刀片孔壁处所受切向应力影响远大于径向应力,砂轮刀片的最大应力发生在孔的内壁处,而在砂轮外圆处切向应力较小。通过输入不同转速对比,外圆切向应力随转速提高而增加,破坏趋势也明显。
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砂轮切割机安全操作规程 一．用途 砂轮切割机适用于建筑、五金、石油化工、机械冶金及水电安装等部门。砂 轮切割机可对金属方扁管、方扁钢、工字钢，槽型钢，碳元钢、元管等材料进行 切割，严禁使用砂轮切割机切割木材。 二．结构说明： 1．主要参数： 砂轮切割机型号：j3gy-ld-400a 砂轮切割机主要技术参数： 额定电压：380v 电机功率：2.2kw 频率：50hz 主轴转速：2800r.p.m 割片规格：400x3.2x32 夹钳调整范围：0o-±45o 最大切割能力： 角钢：100x100x10 圆钢：≤ф50 槽钢：120x53 钢管：ф135*6 外形尺寸：730(长)x400(宽)x580(高) 三．使用与保养： 1．正确的使用方法： （1）使用前必须认真检查设备的性能，确保各部件的完好性。对电源开关、 切割片的松紧度、防护罩或安全挡板进行详细检
Si片磨削中砂轮粒径对Si片损伤层的影响 Si片磨削中砂轮粒径对Si片损伤层的影响
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在直径300mmsi片制备中,利用双面磨削技术能为后续加工提供高精度的表面,但si片损伤层厚度较大。通过扫描电子显微镜和透射电子显微镜对si片表面及截面进行观察,得到了经不同粒径的砂轮磨削后的si片的表面及截面形貌、si片的表面及亚表面损伤层的厚度并进行了分析比较。结果表明,用粒度更小的3000#砂轮磨削,能够有效地降低si片表面及亚表面损伤层的厚度,为优化300mm单晶si片双面磨削工艺、提高si片表面磨削质量提供了清晰、量化的实验理论依据。
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】ｚｓｈ－ⅲ型自动砂轮划片机是用于半导体生产企业的精密专用设备。本文介绍了ｚｓｈ－ⅲ型自动砂轮划片机的设计思想、设计方案、主要技术关键、主要技术参数以及存在的问题。该设备已经小批量生产。
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职位：机电/土建专业监理工程师
擅长专业：土建 安装 装饰 市政 园林
