13.4nm软X射线干涉光刻透射光栅的优化设计

分参数测量ａｌ衰减膜的质量厚度和氧化层后，通过计算到了ａｌ膜的透过率。为检验计算结果的正确性，在北京同步辐射软ｘ光反射率装置上进行ａｌ衰减膜透过率的直接测量。二者的结果在最大偏差１１％范围内符合。

介绍了光栅光谱仪的工作原理,并介绍了光栅的主要性能。通过光谱仪拍摄光谱,计算出玻璃的透射率,最终换算出其透射系数。

介绍紫外光刻法制作微纳光纤布喇格光栅(mf-bg)的制作工艺,测量并分析不同直径的微纳光纤布喇格光栅的反射谱。数据表明随着微纳光纤的直径变小,光纤光栅的中心波长蓝移且反射强度也随之减小。仿真计算微纳光纤的有效折射率和光纤纤芯的束缚能力(即基模分布在纤芯的能量与基模全部能量的比值),来解释上述变化。

提出了双光栅平场全息凹面光栅光谱仪的优化设计方法。将使用波段一分为二,由两个使用结构相同的平场全息凹面光栅分别进行光谱成像以达到提高光谱分辨率的目的。根据全息凹面光栅像差理论,对光栅的使用结构和两光栅各自的制作结构进行优化求解以校正离焦、像散、彗差和球差等各种像差。据此原理设计了工作波段为200~800nm、探测器长度25mm的双光栅平场光谱仪。两光栅的工作波段分别为200~400nm和400~800nm,像面上光谱像的全宽度分别优于0.83nm和1.68nm。通过与相同设计指标的单光栅平场光谱仪进行比较,证明采用双光栅的设计方案能够有效地改善平场全息凹面光栅光谱仪的光谱分辨率。

掺tm3+光纤激光器在工业、医疗、科技及军事领域具有重要应用前景。光纤布拉格光栅(fbg)是构成光纤激光器的重要元件。但掺tm3+光纤不具备光敏性,利用紫外脉冲激光很难在其中刻写fbg,即使采用增敏技术提高其光敏性,获得的fbg的折射率调制量也很小,尚不能满足应用要求,阻碍了掺tm3+光纤激光器全光纤化的发展。以相位掩模法的基本原理为基础,从理论上分析了以飞秒激光为刻写光源的技术要点,总结出与传统紫外激光刻写技术之间的差异及需要注意的问题。建立了飞秒激光相位掩模法刻写光纤光栅的实验系统,利用飞秒激光相位掩模法在非光敏光纤上刻写bragg光栅,在非光敏掺tm3+硅基光纤上获得了衍射阶次为二的光纤bragg光栅,并给出了显微镜下观察到的光栅结构。实验结果证明:飞秒激光可以将fbg刻写入非光敏性硅基光纤,并且具有成栅时间短的优点。

实验室测量金属的线胀系数普遍采用的是光杠杆法,经实验证明光杠杆法存在偶然误差大、测量精度低、占地空间大等问题,通过利用劈尖的等厚干涉法能够很好地解决光杠杆法存在的问题.新方法具有温升范围小、加热功率低、测量精度高、操作简单直观、占地空间小等优点,便于实际教学中教师的讲解、示教和演示,有利于学生综合应用知识,提高综合设计实验的能力.

丹东海浩电子科技有限公司电话：0415-6188898 传真：0415-6138898 德国沃克斯（x-rayworx)透射式微焦点射线源the 德国worx 产品描述：沃克斯（x-rayworx）依托其工程师在微焦 点射线源长期工作经验的基础，对微焦点的射线管进行了新的改进， 使其得到全新的发展，做出了更具有竞争力的微焦点射线源。 公司简介 沃克斯（x-rayworx）依托其工程师在微焦点射线源长期工作经验的基础，对 微焦点的射线管进行了新的改进，使其得到全新的发展，做出了更具有竞争力的 微焦点射线源，分辨率可以达到亚微米级，小于200纳米的精度，功率更高， 使其应用范围更加广泛，使用质量最好的材料制造，更加耐用，输出更加稳定。 产品特点 靶功率最高可达25w 高分辨率、高靶功率、高放大倍率的完美结合 丹东海浩电子科技有限公司电话：0415-6188

根据导波光的微扰理论得到了线双折射磁光光纤光栅中导波光耦合模方程,并给出了其解析解。借助于归一化斯托克斯参量,研究了线双折射与磁圆双折射对光纤光栅中光偏振态的影响。研究表明,线双折射磁光光纤光栅中存在左旋和右旋两个本征的椭圆光偏振态,线双折射或磁圆双折射的大小只引起本征偏振态椭圆率的变化,而不改变主轴方位角。通过调节磁光光纤光栅中两种双折射的相对大小可方便地控制输出导波光的偏振态,从而使磁光光纤光栅在光纤通信与传感中具有广泛的潜在应用。

伴随着国内市场竞争的日趋激烈,常规的mpw(多项目晶圆)布局也不能满足客户的要求,同时也不能最大限度地降低设计公司的研发成本,也不利于国内foundry厂市场的开拓。鉴于此,文章着重提出了利用光刻机挡板把光罩进行区域划分,在不增加流片和满足客户要求的前提下,使光罩得到最大限度的利用,降低了客户的流片费用。通过在15cm片上流片验证,更加突出了此优化光罩布局的方法在研发成本和满足客户要求等方面的优越性,因而这种布局对我国集成电路的发展和新产品的研发工作,特别是对国内中小企业的成长提供了有力的支持,也为foundry厂赢得市场提供了重要的手段。

从势透射率的概念出发，首先从理论上确定诱导透射滤光片金属膜层的厚度。然后介绍诱导透射滤光片的一般设计方法。该方法适合于紫外、可见及红外各个波段，间隔层可选；取任意材料。还对带宽压缩和背景抑制进行研究，并介绍几种有实用价值的方法。

依势透射率的概念从理上确定了诱导透射滤光片金属膜层的厚度，免去了传统方法中繁锁的修正工作。再根据特征矩阵的概念进行诱导透射滤光片的精确设计。该方法的间隔层适合任意材料。文中还对带宽的压缩和背景的抑制进行了讨论。

为完成快速、精确的外观轮廓度量,设计了一种新型纳米级精度分光路双频干涉度量系统。系统由低频差双频激光干涉度量模块和微探头及二维工作台两部分组成。微探针以轻敲式接近样品至几十纳米时,受原子力作用发生偏转,利用双频干涉模块度量其纵向偏转量,并对样品进行梳状式度量得到外观形貌。根据双频激光的实际光源,对原有双频干涉度量理论进行了改进提高。进行了系统组建和实验验证。结果表明:系统具有纳米级精度,可用于超精样品外观轮廓度量。

利用温度对相位调制的全光纤mach-zehnder结构型温度传感器,采用ccd摄像头与小型电视连接的办法来观察干涉条纹的移动,并给出温度变化与干涉条纹移动数的关系,以及敏感长度与灵敏度的关系,进一步了解干涉仪作为温度传感器的参数特性及其作为一台测量仪器的定标。

分段切趾是光纤光栅一种新的切趾改进技术。针对线性啁啾光纤bragg分段切趾的两个重要参数:分段切趾比例和分段切趾强度进行讨论。基于数值模拟的结果,以三分段切趾为例,分析两个参数对光栅性能的影响以及进行优化的方法。

开发高压超高压电力电缆光纤光栅温度传感器系统,提出光纤光栅传感机理,建立优化设计框架。通过光纤光栅温度传感器封装结构优化设计,提出片式封装结构;通过线性度优化设计,提出用铝板作为封装基底材料;通过外界应力场影响补偿优化设计,提出采用40mm×10mm(长×宽)的小尺寸封装方法。进行光纤光栅温度传感器水域实验和光纤光栅测温系统对比实验,讨论系统的性能和可行性。并将光纤光栅温度实时在线监控系统应用于实际工程项目,分辨率达0.1℃,精确度达±0.5℃,测温范围可达-30～200℃。

应用模匹配法和空间floquet理论,对金属光栅的散射特性进行了详尽分析,并且得到了矩形光栅圆极化器的尺寸。然后,对光栅结构进行了优化,得到了双u型金属光栅圆极化器,其轴比1.2范围内的带宽是矩形光栅带宽的3倍,功率容量为矩形光栅的15倍。最后,在cst软件中建立模型,仿真结果显示,中心频率上轴比为1.07,很好地实现了右旋极化转变。

我国第一台多用途、高精度的光学测试仪器—jdg-1型激光多用干涉仪,最近在安徽光学精密机械研究所研制成功.这台仪器可用于测量光学零件的平面度、平行度、球面

分析了用相干光测量细丝直径的原理和方法,分别用钠光和氦氖气体激光测量并计算出同一金属细丝的直径,计算和分析了测量误差,研究和比较了两种光源对测量误差的影响.

x初x末12.701l初l末li=l末-l初 112.70123.11310.41212.24937.86125.612 223.1333.512210.382212.16137.78825.627 325.10135.59210.49112.2437.86325.623 414.73925.10110.36212.14837.7725.622 513.4523.75910.30912.2537.86825.618 x11x1x1'x11'd11=x11-x11'd1=x1-x1' 135.11336.55539.05140.5935.482.496 235.14236.54939.08140.5885.4462.532 335.10836.54539.05340.595.482

文章编号:025322239(2007)082143025 基于适度光反馈自混合干涉技术的振动测量3 禹延光　郭常盈　叶会英 (郑州大学信息工程学院,郑州450052) 摘要:　光反馈自混合干涉技术是一种新浮现的有别于传统双光束干涉的一类新的测试技术。为了在适度光反馈 下进行振动的精密测量,提出了一种基于适度光反馈自混合干涉技术的振动测量方法。经对光反馈自混合干涉信 号条纹分析,发现通过选定合适的光反馈水平及激光器线宽展宽因数,可以得到锯齿干涉条纹。这种干涉信号不 仅包含振动幅度信息也包含振动方向信息。该振动测量方法利用锯齿干涉条纹的特点,首先通过条纹记数实现大 范围振幅粗测,具有半波长位移分辨力;然后基于适度光反馈下小数条纹的特点,给出了小于半波长位移测量的线 性表达式,从而实现位移的精测。仿真计算表明,该方法可以实现大量程高分辨力振动位

运用光的干涉理论,分别讨论了点光源在楔形平板情况下的干涉条纹及光强分布,并推导出测量平板楔角的一种新方法。运用该方法时平板楔角进行了测量,获得了精确的结果(不确定度<10-5)。

提出了一种改进的诱导透射滤光片的设计方法,使对于任意厚度的金属,均能得到最佳匹配的出射导纳.采用两个非四分之一波长层来代替传统设计方法中的单间隔层,其厚度可以通过导纳图解得.通过改变两个间隔层的材料,可以对滤光片的带宽进行调整.与传统方法相比,用改进的方法设计的滤光片达到了最大势透射率,具有更高的峰值透射率.