1 真空泵选型 真空泵 的作用就是从真空室中抽除气体分子， 降低真空室内的气体压力， 使之达到要求的真 空度。概括地讲从大气到极高真空有一个很大的范围，至今为止还没有一 种真空系统能覆 盖这个范围。因此， 为达到不同产品的工艺指标、 工作效率和设备工作寿命要求、 不同的真 空区段需要选择不同的真空系统配置。为达到最佳配置， 选择真空系统时，应考虑下述各 点： 确定工作真空范围 : ----首先必须检查确定每一种工艺要求的真空度。 因为每一种工艺都有其 适应的真空度范围，必须认真研究确定之。 确定极限真空度 ----在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的极限真空度，因为系统的极限真 空度决定了系统的最佳工作真空度。一般来讲，系统的极限真空度比系统的工作真空度低 20%，比前级泵的极限真空度低 50%。 被抽气体种类与抽气量 检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被抽气体种类
真空泵选型 真空泵 的作用就是从真空室中抽除气体分子， 降低真空室内的气体压力， 使之达到要求的真 空度。概括地讲从大气到极高真空有一个很大的范围，至今为止还没有一 种真空系统能覆 盖这个范围。因此， 为达到不同产品的工艺指标、 工作效率和设备工作寿命要求、 不同的真 空区段需要选择不同的真空系统配置。为达到最佳配置， 选择真空系统时，应考虑下述各 点： 确定工作真空范围 : ----首先必须检查确定每一种工艺要求的真空度。 因为每一种工艺都有其 适应的真空度范围，必须认真研究确定之。 确定极限真空度 ----在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的极限真空度，因为系统的极限真 空度决定了系统的最佳工作真空度。一般来讲，系统的极限真空度比系统的工作真空度低 20%，比前级泵的极限真空度低 50%。 被抽气体种类与抽气量 检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被抽气体种类与泵内
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