X射线散射法测量超光滑平面
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介绍了掠入射X射线散射法(GXRS法)测量超光滑表面的原理及基于商业用X射线衍射仪改造而成的实验装置。以3片不同粗糙度的硅片作为实验样品,分别应用一级矢量微扰理论和改进的Harvey-Shack理论对其散射分布进行处理,所得结果与原子力显微镜测量结果基本相符。分析了探测器接收狭缝的宽度和入射光发散度对实验结果的影响,随着探测器接收狭缝宽度和入射光发散度的减小,测量误差呈指数迅速减小。在所测量的空间频率范围内,功率谱密度(PSD)函数的误差随频率的增加而减小。
X射线反散射法测量塑料薄膜厚度
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为实现快速、无损、精确的塑料薄膜厚度分析,讨论了XRF方法在塑料薄膜厚度测量中的应用,采用源初级射线散射法对塑料薄膜厚度进行相对测量。结果表明,厚度在10~800μm时,反散射X射线荧光强度与塑料薄膜厚度线性关系良好。对仪器标定后进行200 s快速测量,测量的厚度绝对误差<3μm(10~135μm),相对误差<4%(36~576μm),有较高的测量精度。XRF方法可用于塑料薄膜厚度的测量,该法对塑料工业的生产有现场指导的意义。
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