炉管工艺 引言 IC 行业所用的炉管目前主要是垂直式的（水平式的已经很少用了） ，按使用 压力不同分为常压炉管和低压炉管。常压炉管主要用于热氧化制程，热退火， BPSG热回流，热烘烤，合金等诸方面。 低压炉管则主要用于 LPCVD 沉积工艺， 包括多晶硅的形成，氮化硅的形成， HTO 和 TEOS等；HTO 和 TEOS都是用来 生成二氧化硅的。本篇主要介绍炉管的基本知识及有关工艺。 §1. 常压炉管工艺 硅表面上总是覆盖着一层二氧化硅，即使是刚刚解理的硅，在室温下，只要 在空气中一暴露就会在表面上形成几个原子层的氧化膜。 当我们把硅晶片暴露在 高温且含氧的环境里一段时间之后， 硅晶片的表面会生长 （grow）一层与硅附着 性良好，且具有高度稳定的化学性和电绝缘性的二氧化硅—— SiO2。正因为二氧 化硅具有这样好的性质，它在硅半导体元件中的应用非常广泛。 根据不同的需要， 二氧化硅被用于
热门知识
胀管工艺-
话题： 工程造价liuguoliang
-
话题： 装修工程woailuojing
-
话题： 装修工程cilium8421
精华知识
胀管工艺-
话题： 室内设计lifengshu1
-
话题： 工程造价chenying8210
最新知识
胀管工艺-
话题： 建筑设计zh__h__163
-
话题： 项目管理weiqiao19820
胀管工艺相关专题
- 楼顶天台给水管
- 铸铁给水管件安装
- 怎么区分给排水立管支管
- 怎么数给水管的管件和附件
- 怎样看懂给水管道系统图
- 怎样修补PVC给水管接头漏水
- 涨管给水管问题
- 洁具排水立管工程量计算
- 旧的排水井及排水管疏通
- 聚乙烯给水管又叫什么
- 中华华丹雨、污水管道沟槽开挖专项施工方案教学教材
- 云计算技术在城市轨道交通运营指挥管理系统中的应用
- 圆管涵工程数量表(20201022195115)
- 园林绿化养护精细化管理对河源市园林景观的影响分析
- 云南省昆明市建设局建筑工程深基坑施工安全管理规定
- 原来这就是辨别冷热水管正确方法商家终于肯说实话了
- 中国施工企业管理协会科学技术奖技术创新成果申报书
- 支持群体设计的工程数据库管理系统的结构及实现
- 水利管理单位信访工作
- 圆CFRP-钢管混凝土偏压构件荷载-变形关系分析
- 应用亚温淬火工艺解决45钢槽型螺母淬裂问题的探索
- 中国石化北京设计院标准工艺装置管道垫片选用规定
- 以建筑工程资料管理的规范化促进工程质量的管理监督
- 中国家具钢管行业市场前景分析预测年度报告(目录)
- 有关建筑工程造价管理面临的问题与其处理手段
- 永春县农田水利设施产权制度改革和运行管护机制试点
- 以BIM为基础的装配式建筑全生命周期管理问题