机 械 工 程 学 报 CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING 第 43卷第 6期 2007 年 6 月 Vol. 43 No.6 Jun. 2007 HFCVD 衬底三维温度场有限元法模拟 * 徐 锋 左敦稳 卢文壮 李 磊 王 珉 (南京航空航天大学机电学院 南京 210016) 摘要： 热丝化学气相沉积 (Hot filament chemical vapor deposition, HFCVD) 方法制备金刚石薄膜设备简单，成本低 廉，适合大面积金刚石膜的产业化生产，其中衬底温度是沉积高质量 CVD 金刚石膜的重要参数之一。基于此， 首先分析大面积 HFCVD 系统的热交换过程，建立大面积 HFCVD 系统衬底温度场的三维有限元模型。与传统纯 热辐射模型相比，本模型更加接近实际系统，并较好符合试验测定的结果。根据三维有限元模
新《标准化法》于2017年11月正式发布,团体标准被正式确立为国家标准体系的组成部分。为使学会的团体标准化工作可持续发展,必须尽快建立学会自己的标准体系,本文在分析我国机械工业标准体系现状及主要问题的基础上探讨了学会团体标准体系的建设思路、组织构成,并分析了相应的保障措施。
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