常用压力传感器原理分析 振膜式谐振压力传感器 振膜式压力传感器结构如图 (a)所示。振膜为一个平膜片，且与环形壳体做 成整体结构，它和基座构成密封的压力测量室，被测压力 p 经过导压管进入压 力测量室内。参考压力室可以通大气用于测量表压，也可以抽成真空测量绝压。 装于基座顶部的电磁线圈作为激振源给膜片提供激振力，当激振 频率与膜片固 有频率一致时，膜片产生谐振。没有压力时，膜片是平的，其谐振频率为 f0 ； 当有压力作用时，膜片受力变形，其张紧力增加，则相应的谐振频率也随之增加， 频率随压力变化且为单值函数关系。 在膜片上粘贴有应变片， 它可以输出一个与谐振频率相同的信号。 此信号经 放大器放大后，再反馈给激振线圈以维持膜片的连续振动， 构成一个闭环正反馈 自激振荡系统。如图 (b)所示 压电式压力传感器 某些电介质沿着某一个方向受力而发生机械
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