分子泵的装配顺序对分子泵的运行情况和抽气性能具有较大影响,为了优化分子泵装配工艺,需要综合考虑装配操作方便性、装配精度保证性、工艺简单性和装配可行性等影响分子泵装配的因素,通过装配序列的综合评价方法,建立装配序列评价模型,获取最优的装配序列,从而在最优装配序列的指导下,优化装配工艺流程并设计专用装配装置,提高分子泵装配效率和质量稳定性。
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