单级旋片泵结构与工作原理 时间 :2008-09-07 来源 :真空技术网整理 编辑 :真空技术网 单级旋片泵只有一个工作室。泵主要由定子、旋片、转子组成。在泵腔内偏心地装 有转子，转子槽中装有两块旋片，由于弹簧弹力作用而紧贴于缸壁 (转动后还有旋片离 心力 )。转子和旋片将定子腔分成吸气和排气两部分。 图 5：单级旋片式真空泵工作原理图 当转子在定子腔内旋转时周期性地将进气口方面容积逐渐扩大而吸入气体， 同时逐渐 缩小排气口一侧的容积将已吸入的气体压缩并从排气阀排出。 排气阀浸在油里以防止大气流入泵中。 泵油通过油孔及排气阀进入泵腔， 使泵腔内所 有的运动表面被油覆盖，形成了吸气腔与排气腔之间的密封。 双级旋片泵的结构与工作原理 时间 :2008-09-07 来源 :真空技术网整理 编辑 :真空技术网 单级旋片泵 一般极限压力只能达到 1.3Pa( 个别可达 0.1Pa)，为什么极限
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