采用传统的研磨抛光方法很难实现口径与厚度比很大的玻璃透镜的制造,下盘后机械应力变形是影响透镜精度的重要因素之一。而采用玻璃精密模压制造技术,无需透镜毛坯装夹固定机构,在加工过程中几乎不产生机械应力,因此是小口径薄型玻璃透镜的首选制造技术。成功制造了一种口径与中心厚度比为11的薄型透镜,面形精度的PV值和RMS值可分别达到0.41μm和0.08μm,重复精度的PV值优于0.1μm,测量结果表明:该模压透镜具有良好的面形精度,且批量制造的一致性很好,说明采用玻璃精密模压制造技术加工小口径薄型透镜是一种高效可靠的加工方法。
对小口径玻璃透镜热压成形模具的超精密平行磨削进行了试验研究,并对加工过程中的形状误差补偿技术进行了探讨。结合超精密平行磨削技术和形状误差补偿技术,选用经精密整形和修锐的微小砂轮,对直径和曲率半径均为10mm的小口径透镜模具样品进行了加工试验。试验获得的加工表面的表面粗糙度Ra=5.98nm、Rz=34.95nm,形状精度峰谷值为113nm、均方根值为23nm,其形状精度峰谷值及均方根值均较误差补偿之前有明显减小,加工过程中的残余形状误差得到了有效的修正和补偿,加工精度得到提高。
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