炉管工艺 引言 IC 行业所用的炉管目前主要是垂直式的（水平式的已经很少用了） ，按使用 压力不同分为常压炉管和低压炉管。常压炉管主要用于热氧化制程，热退火， BPSG热回流，热烘烤，合金等诸方面。 低压炉管则主要用于 LPCVD 沉积工艺， 包括多晶硅的形成，氮化硅的形成， HTO 和 TEOS等；HTO 和 TEOS都是用来 生成二氧化硅的。本篇主要介绍炉管的基本知识及有关工艺。 §1. 常压炉管工艺 硅表面上总是覆盖着一层二氧化硅，即使是刚刚解理的硅，在室温下，只要 在空气中一暴露就会在表面上形成几个原子层的氧化膜。 当我们把硅晶片暴露在 高温且含氧的环境里一段时间之后， 硅晶片的表面会生长 （grow）一层与硅附着 性良好，且具有高度稳定的化学性和电绝缘性的二氧化硅—— SiO2。正因为二氧 化硅具有这样好的性质，它在硅半导体元件中的应用非常广泛。 根据不同的需要， 二氧化硅被用于
第 1页共 20页 1.0 工程简介 本方案适用于联盟炼油 40万吨 /年加氢处理装置 2台加热炉的炉管施工。 装 置中共有 1台反应进料加热炉（ F-1001）和 1台分馏塔底重沸炉（ F-1002）。方 箱炉，反应进料加热炉（ F-1001）辐射炉管的材质均采用 TP321H，分馏塔底重 沸炉（F-1002）辐射炉管和对流炉管的材质采用 ，对流室为翅片管。 转化 炉包括 Alloy800HT 炉管。 2.0 编制依据及施工执行的规范标准 2.2 施工执行的标准规范 SH3065-1994 石油化工管式炉急弯弯管技术标准 SH3085-1997 石油化工管式炉碳钢和铬钼钢炉管焊接技术条件 SH3086-1998 炼油厂管式炉钢结构工程及部件安装技术条件 SH3087-1997 石油化工管式炉耐热钢铸件技术标准 SH/T3113-2000 石油化工管式炉燃烧器工程技术标准
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