提出了一种低成本的由压电材料驱动的平面扩张/收缩管无阀微泵的制作工艺。通过数值模拟确定了扩张/收缩管扩张角的最优值,在此基础上,采用光刻和湿法刻蚀工艺,刻蚀了300μm深的泵腔基片和100μm深的盖片;使用等离子体清洗技术将其与PDMS薄膜键合,完成了可以实现单向泵送的压电无阀微泵样机制作。研究了该压电无阀微泵样机的性能,分别分析了压电振子的激励频率、电压和微泵背压对其流量的影响。实验结果表明:在100 V,110 Hz交流方波电压信号的作用下,微泵有最大输出流量为436μL/min,最大背压为620 Pa。
1 第一章 继电保护整定计算的准备 1、整定计算的具体任务 有以下几点: ⑴维持电力系统接线图 ⑵绘制电力系统阻抗图 ⑶建立系统参数表 ⑷建立电流、电压互感器参数表 ⑸确定继电保护整定需要满足的电力系统规模及运行方式变化 ⑹电力系统各点短路计算 ⑺建立各种继电保护整定表 如图所示 电力系统接线图 正序阻抗图 2、 整定计算的准备工作 ⑴首先了解掌握电力系统情况并建立技术档案 (建立发电机、 变压器、输电 线路及保护用的电流、电压互感器技术档案) 。 ⑵了解掌握继电保护情况和图纸资料。 需要掌握的继电保护内容主要有: 原 理展开图、有关的二次回路、盘面布置图、继电保护的技术说明书等等。 ⑶绘制阻抗图。阻抗图一般分为正序、负序、零序阻抗图三部分、阻抗图一 般是采用标么值。 ⑷确定电力系统运行方式, 研究确定电力系统运行方式是继电保护整定计算 的先决条件。就是要确定可能出现的最大、最小运行方式