真空泵的概述 1 真空泵的概述 Xue Jianguo (Jiangsu Asia Pacific pump valve technology limited company, Jiangsu Taizhou 225400) 摘要：真空泵产品数量巨大，产量大，产量不高，但这确实是一个直接影响真 空设备性能质量不可缺少的基础产品。真空泵的市场根据用户的需求而发生变 化。从半导体行业的快速发展和扩大干泵和分子泵应用领域为市场增长的主要驱 动力。 关键词： 真空泵；市场；扩大；发展 引言：目前，真空泵市场销售额约 20亿美元的年增长率约为 7%。我们的真空 泵的制造商生产的真空泵， 一共销售约 15亿元，仅仅是美国 KINNEY公司年度销 售额 [1,2] 。通过对全球真空泵市场的分析我们可以看到，各类真空泵的市场及应 用领域的不断变化和发展。 我国真空泵制造业有着悠久的历史和雄厚的基础，
动、静涡旋盘之间的泄漏是影响涡旋真空泵抽气性能的重要因素,分析了主要由轴向间隙及径向间隙引起的气体返流泄漏,阐述了相应的密封原理及措施,为涡旋真空泵的优化设计提供新的思路。
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