何谓洁净室？ 一、洁净室之定义 洁净室 (Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。 它是污染控制的基础。 没有洁净室，污染敏感零件不可能批量生产。在 FED-STD-2 里面，洁净室被定义为具备空 气过滤、分配、 优化、构造材料和装置的房间， 其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮 微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。 洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、 有害空气、 细菌等之污染物排除， 并 将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某 一需求范围内， 而所给予特别设计之房间。 亦即是不论外在之空气条件如何变化， 其室内均 能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。 洁净室最主要之作用在于控制产品 (如硅芯片等 )所接触之大气的洁净度日及温湿度， 使 产品能在一个良好之环境空间中生产、制造， 此空间我们称之为洁净室
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