1 5.1.1技术要求 2.冷却系统额定冷却容量: 15kW 3.额定冷却流量 : 2.2 t/h 4.额定去离子流量 : 无 5.冷却水电阻率值 : ≤100μs/cm 6.去离子水电阻率: 无 7.进阀水温度 : ≤40℃ 8.出阀水温度 : ≤47℃ 9.冷却水进阀压力 : ≥4.0bar 10.水冷装置设计压力 : 0.6MPa 11.水冷装置测试压力 : 0.8MPa 12.主循环过滤精度 : 200 μm 13.去离子回路过滤精度 : 无 14.冷却介质 : 纯水+乙二醇 15.装机电容量 : 3kW 5.1.2选型说明 主循环水泵 : 一备一用 CHI2-60 二次散热方式 : 水风换热器一套 电加热器:功率见主要设备一览表 控制器 : PLC S7-200 系列,一套 人机界面 : TD200 ,一台 报警要求