声表面波工艺原理 第一章 清洗工艺原理 Page 1 of 5 一，声表器件清洗工艺原理 序： 声表器件制作工艺中的清洗技术及洁净度是影响器件合格率、 器件性能和可靠性的重要因 素。杂质污染主要来源于晶片加工过程、环境污染、水（包括纯水）污染、试剂污染、工艺 气体污染、生产用设备、器皿、工具及易耗品污染、人体污染和工艺过程造成的污染。由于 表面污染是通过污染物与表面间的作用力引起（主要是化学力和分子间力） ，清洗就是为破 坏这种作用力，除去由上述污染源所带来的有机物、微粒、金属原子（离子）及微粗糙。 （一）对基片表面的清洗： 由于有机物会遮盖部分基片表面，影响对微粒和金属的清洗，所以清洗的一般思路是： 先除去表面的有机污染，然后再去除微粒和金属杂质。 1，对有机物的清洗： 基片上的有机污染主要有油膜、 残余的蜡膜胶膜、 不纯有机溶剂挥发后的残膜， 以及微生 物的有机残渣、 手油等。 这些杂
mbr 工艺原理及优缺点 MBR 工艺简介 MBR 工艺体现的是“治理、回用” 的节水理念。 MBR 膜生物 反应器（ Membrane Bioreactor）工艺是传统的生物处理工艺和膜分离技术相结合发展起来 的。MBR 工艺由生物处理和膜处理两部分组成。 生物处理部分包括缺氧池、好氧池；膜处理部分包括膜池。 MBR 膜分离技术采用超滤法， 取代传统生物处理沉淀池，固液分离效果好，为解决回用水质问题提供了可靠保证。 MBR 工艺的工作原理首先通过活性污泥来去除水中可生物降解的有机污染物，然后采用 膜将净化后的水和活性污泥进行固液分离。 中空纤维膜丝为管状，管壁上有微孔，能够截留住活性污泥以及绝大多数的悬浮物，出水 清澈透明。为使膜能够长期连续稳定的运行，在膜的下方要进行一定量的曝气，这样，既 满足生物需氧量，又使膜丝不断抖动，防止活性污泥附着在膜的表面造成污染。 MBR 工艺的分类膜生物
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