博爱湖片区路网工程（综合管廊）—施工图设计 博爱湖片区路网工程（综合管廊） 五、 主要设计原则 施工图设计说明 （1） 管廊原则上不考虑采用空调系统， 应采用机械通风方式进行通风换气、 排 除余热， 工程概况一、 满足综合管廊工作环境要求。 （本项目为佛山南海的博爱湖片区路网中的干线综合管廊和缆线沟两种管廊， 规 划管廊总长 2） 通风系统的设计应保证系统整体的可靠性、安全性。整条管廊 按同一时间内发生一次火灾考虑。 公里，缆线沟为 5.7公里。 2.5为 8.2公里， 其中干线管廊为（ 3） 管廊的温度应控制不超过 40℃、氧含量不小于 19％、换 气次数不小于 2 次/小时。 二、 设计范围 （4） 管廊通风系统应采用沿管廊纵向机械通风方式。干线管廊的通风设计。 ） 管廊的通风系统应结合管廊各个地面出口的具体情况灵活布置。 （5三、 设 计依据 通风系统应为管廊内管线提供基本的运行环境
光刻工艺中对热板表面温度场均匀性有极高要求,在热板设计参数选择问题上,通过使用通用旋转组合设计的方法,利用ANSYS仿真模拟软件,得到不同设计参数情况下的热板表面温度场均匀性数据。对仿真结果数据进行回归建模,回归模型计算结果与仿真结果有较高的一致性。结果表明,热板设计参数可以根据该回归模型来选择。
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