筑神-建筑下载: http://www.zhushen.com.cn QSY，DSY 透明石英玻璃仪器 本标准主要用于半导体工业采用的透明石英玻璃仪器。其他冶金、化工、科学研 究等所用透明石英玻璃仪器之技术要求均可参考本标准执行。 透明石英玻璃仪器有 QSY 透明石英玻璃仪器和 DSY 透明石英玻璃仪器两种。 技术要求 1．透明石英玻璃仪器的化学成分，热稳定性，抗结晶性和高温变色性，均不低 于同类管材的要求。 2．透明石英玻璃仪器在加工过程中，应尽量消除应力，必须保证在常温下逐步 升温至 1100℃，在炉内自然冷却后无炸裂。 3．两种透明石英玻璃仪器均按加工部位的外观指标分为二级（见下表）。 项 目 一 级 二级 加工过程中混入（毫米） 0.1￣0.3 0.3￣1.0 色 斑 允许数量（个/100 厘米[2]） ≤2 ≤2 吊管接口应做到轴向平行
筑神-建筑下载: http://www.zhushen.com.cn QSY，DSY 透明石英玻璃仪器 本标准主要用于半导体工业采用的透明石英玻璃仪器。其他冶金、化工、科学研 究等所用透明石英玻璃仪器之技术要求均可参考本标准执行。 透明石英玻璃仪器有 QSY 透明石英玻璃仪器和 DSY 透明石英玻璃仪器两种。 技术要求 1．透明石英玻璃仪器的化学成分，热稳定性，抗结晶性和高温变色性，均不低 于同类管材的要求。 2．透明石英玻璃仪器在加工过程中，应尽量消除应力，必须保证在常温下逐步 升温至 1100℃，在炉内自然冷却后无炸裂。 3．两种透明石英玻璃仪器均按加工部位的外观指标分为二级（见下表）。 项 目 一 级 二级 加工过程中混入（毫米） 0.1￣0.3 0.3￣1.0 色 斑 允许数量（个/100 厘米[2]） ≤2 ≤2 吊管接口应做到轴向平行
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