1 净化的定义 净化 (洁净 )技术及玷污 (微玷污 )控制技术,国际上常用玷污控制 一词,即对加工或处理对象在加工处理过程中由于玷污物质的存在,影响对象的 成功率,而对到达对象表面的玷污物质进行控制后,能提高对象的成功率,此有 效控制玷污物质 (亦包括加工或处理对象带有对人体有害的玷污物质需进行处理 及隔离)的技术。 洁净室等级标准(美国联邦标准 209E) 等 级 ≥0.5um尘粒数 ≥5um尘粒数 颗 /立方英 尺 颗 /立方英 尺 颗/立方英 尺 颗/立方英 尺 100 100 3500 / / 1000 1000 35000 7 250 10000 10000 350000 70 2500 100000 100000 3500000 700 25000 洁净室气流形式及其特点 气流形式 适用洁净级别 优点 缺点 垂直层流 底 回风 10级 ,100 级 1 设备造价非常