建标 工程建设标准全文信息系统 工程建设标准全文信息系统 中国工程建设标准化协会标准 混凝沉淀烧杯试验方法 北京 工程建设标准全文信息系统 工程建设标准全文信息系统 中国工程建设标准化协会标准 混凝沉淀烧杯试验方法 主 编 单 位 山东建筑工程学院 批 准 单 位 中国工程建设标准化协会 施 行 日 期 年 月 日 北 京 工程建设标准全文信息系统 工程建设标准全文信息系统 前 言 根据中国工程建设标准化协会 建标协字第 号文 关于 下达 年第二批推荐性标准编制计划的函 的要求 制订本规 程 对混凝沉淀过程的研究和控制有混凝沉淀烧杯试验法 电泳 和流动电流检测法 胶体滴定法 颗粒分析法 电镜法和 衍射法 等 其中混凝沉淀烧杯试验法应用最普遍 它是一种模拟混合 絮 凝和沉淀 个工艺的实验手段 本标准是在总结国内外大量混凝沉淀烧杯试验研究成果和生 产实践经验的基础上 参照国内外有关技术文献 并
本文研究报道了Pyrex7740玻璃湿法腐蚀通孔技术。将四寸硅玻璃键合圆片的玻璃衬底减薄,并在玻璃上分别制备PECVD SiC、W/Au和PECVD多晶硅三种不同掩膜及其开口,最终利用40%HF腐蚀实现玻璃通孔。整个工艺过程与IC工艺兼容,并可进行圆片级批量加工。观察并研究纵向和横向腐蚀过程和通孔形貌,对比三种不同腐蚀掩膜掩蔽效果。本文研究结果为圆片级密封封装及其它MEMS器件奠定了基础。
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