用于真空压力测量的电容式薄膜真空计
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本专利所涉及制造的是一种用于真空压力测量与控制的仪器仪表。它是检测真空压力的理想仪表,由于运用了电容量变化的原理,采用了可变电容结构,成功地制造出了一种结构简单、成本较低、工作特性稳定、过压能力强、测量精度和灵敏度高、耐蚀性强和长期稳定性好的真空压力测控仪表——电容式薄膜真空计。它已广泛地运用于核工业领域内的铀浓缩、太阳能和电子工业领域的单晶硅和多晶硅的提炼、航天领域、真空冶炼、电光源制造、生物制药、石油化工以及实验室等。
复合真空计机械控制开关转化为电子开关
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为了提高本科生的知识结构水平与锻炼他们的动手能力,本文提出了将老式复合真空计高真空机械控制开关转化为电子开关的改装方案,让本科生对老式复合真空计的测试原理具有一定的理解后,通过对原理的掌握来设计出对应的电子开关。这样一方面锻炼了学生的动手实践能力,另一方面可以通过电子开关对机械开关的替代使老式复合真空计的使用寿命变长,提高测量数据的准确度,节省了购置新真空计的费用。
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