化学机械抛光中抛光垫表面沟槽的研究
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抛光垫表面沟槽是决定抛光垫性能的重要因素之一。介绍了抛光垫表面沟槽的形状、尺寸和倾斜角度等因素对抛光过程的影响规律,认为:负螺旋对数型沟槽抛光垫的性能最佳,沟槽的深度和宽度会影响加工区域抛光液的平均驻留时间、混和效率及成分,沟槽的倾斜角度也会影响抛光效率,-20°倾斜角抛光垫的抛光效率最高。
双槽虹吸式SBR滗水器的设计改进
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双槽虹吸式SBR滗水器由1个漂浮的滗水堰槽、1个出水水封槽及2根∏字型虹吸管组成。滗水堰槽上安装有2个浮子,使其漂浮在水上,并随SBR池内水位变化而上下移动。堰顶水深保持在50~100 mm。排水时将水面表层澄清水撇入滗水堰槽。滗水堰槽用虹吸管与SBR排水井中的出水水封槽连通,排水利用虹吸作用由滗水堰槽经虹吸管和出水水封槽流入排水井。虹吸管用轴承固定在池壁上,随漂浮的滗水堰槽上下而摆动。两槽与虹吸管之间用可轻松转动的轴连接,只有轻微的摩擦。该滗水器是浮堰虹吸式滗水器的改进型,省去了其中的自动调节机构。
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