PD380B管式 PECVD 1 蝶阀与挡板阀的拆装 图一 PE主机台 1.炉管降温 在工控机操作界面中，将炉管温度由原来的 450°设置为 200°。 2.真空泵的吹扫 2.1抽真空；将反应压力设为 0，关掉 N2输入，打开预抽，当压力小 于 500时，关掉预抽，打开主抽，直到管内为真空状态（压力小于 40mtorr）； 2.2设置 N2输入为 8000，反应压力为 1700mtorr； 2.3将真空泵的 N2稀释阀调到最大约 84.4pam3/S；吹扫至少进行 20min。 真空泵 真空管路 PD380B管式 PECVD 2 图二 真空泵 3.关真空泵 3.1点操作面板的 stop，选择关闭真空泵（并非延时关闭） ； 3.2拉下真空泵的黑色电源开关，并且将真空泵的冷却水关掉，保持 真空泵的 N2为打开状态。 4.工具的准备 一套开口扳手（主要使用 7mm、12mm、13mm、1
分析了力反馈两级电液伺服阀喷嘴挡板阀处的流场。首先利用Gambit软件进行网格划分,建立Solidworks三维模型,采用CFD计算流体动力学方法得到了喷嘴挡板一级阀的压力场和速度场。结果表明:固定节流口、喷嘴挡板间隙和回油阻尼口处存在节流减压现象,最高流速发生在固定节流口和喷嘴挡板间隙处。分析结果对喷嘴挡板阀的数字化设计及性能预测具有一定的参考意义。
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