超光滑抛光玻璃表面粗糙度为纳米量级,超精密抛光加工精度达到分子级或原子级。超光滑和超精密抛光新技术包括数控小工具抛光、应力盘抛光、浴法抛光、磁流变抛光、离子束抛光、电子束抛光、激光抛光和等离子辅助抛光等。本文重点阐述采用20KeV、1×1014. ions/cm2和1×1016. ions/cm2的N+离子对钠钙硅酸盐和铅玻璃进行离子束抛光的原理与工艺,抛光后粗糙度仅为几十纳米。采用高束流脉冲电子束抛光时,当束流超过1012 W/cm2时,玻璃表面Griffith裂纹扩张,粗糙度反而增加,必须严格控制抛光时电子束能量。
不锈钢激光模板尺寸大、壁薄,对其抛光要求为变形小、孔壁光滑,且腐蚀量小于0.005 mm。利用极化曲线、扫描电镜(SEM)等方法,研究了预去毛刺、添加剂、精抛光工艺参数对抛光质量的影响,确定了精密电抛光溶液组成及精抛光工艺。结果表明,添加剂含量在15 g/L时能有效抑制抛光的腐蚀量,提高抛光质量;在精抛光的参数电流密度为20～25 A/dm2,温度60～65℃,时间1 min条件下,钢片经去毛刺处理和精抛光处理能达到孔壁光滑、腐蚀量小于0.005 mm的要求。
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