该文旨在规范覆层厚度测量仪测量不确定度分析与评定工作,确保测量不确定度评定结果的准确可靠。该文运用国际通用不确定度评定方法,建立测量模型,对以标准厚度片作为标准器校准覆层厚度测量仪示值误差进行了测量不确定度评定,并分析其不确定度分量,以期为广大测量人员提供不确定度分析参考依据。
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