蓝宝石基片的超光滑表面抛光技术
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文中介绍了蓝宝石基片的主要抛光方法,包括浮法抛光、机械化学抛光、化学机械抛光和水合抛光等,对它们的工作原理、特点作了分析和总结。
日开发LED的蓝宝石底板高成品率芯片技术
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日本迪思科(Disco)开发出了用于LED的蓝宝石底板芯片加工技术。该技术的特点是,在切割蓝宝石底板时可同时兼顾LED的质量及成品率。该公司称其为“蓝宝石底板的Stealth Dicing Process”。
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