浅析磁控溅射镀膜玻璃 “针孔”和“脱膜”现象 郭 明 (洛玻集团晶润镀膜玻璃公司 洛阳市 471009 ) 摘 要 根据多年维修 、管理美国 A IRCO (爱柯 ) 磁控溅射镀膜玻璃生产线的实践经验 ,全面 分析了磁控溅射镀膜玻璃 “针孔”和“脱膜”等膜面质量问题的原因和解决方法 。 关键词 磁控溅射镀膜玻璃 针孔 脱膜 自 1988 年到目前为止 ,国内已经引进了近 三十条磁控溅射镀膜玻璃生产线 。 主要为美国 A IRCO (爱柯 ) 和德国 L EYBOLD (莱宝 )两家 公司的设备和技术 。 虽然每条生产线的规模和 档次不同 , 但其工艺均为磁控溅射镀膜 , 该工艺 技术已经非常成熟 ,能在大面积玻璃上镀制结 合力强 ,膜层均匀 , 重复性好的高质量膜 。 随着设备使用年限和磨损的增加 , 如果设 备操作和维修人员对磁控溅射镀膜工艺和设备 的理解 、掌握不精 , 在生
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