真空用橡胶密封圈 接触式真空动密封的结构，最常用的有下面几种类型： 1）J 型真空用橡胶密封。 J 型真空用橡胶密封圈工作表面应平整光滑，不允许有气泡杂质、凹凸不平等缺 陷。 2）O 型真空用橡胶密封圈。 3）骨架型真空用橡胶密封圈 4）真空用 O 形橡胶密封圈 9.2 真空用金属密封圈 金属密封圈密封的可拆联接是超高真空系统中常用的联接形式。它是为满足超高 真空要求而必须经 200～400℃的高温烘烤除气而采用的密封方式。 常用的金属密封圈的材料有金丝和无氧铜两种，它们有下列一些性能： 金（Au）具有高的化学稳定性，高温时不氧化，塑性好，屈服极限比铜或铝低一 倍，在较小的夹紧力下即可产生塑性变形，膨胀系数为 αg=14×10-6cm/cm·℃， 比不锈钢的膨胀系数 αs=18×10-6cm/cm·℃稍低。金制密封圈虽有良好的密封性 能，但在夹紧力的作用下会发生显著的变形硬化，强度增加。为
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