1 5.1.1技术要求 2．冷却系统额定冷却容量： 15kW 3．额定冷却流量 : 2.2 t/h 4．额定去离子流量 : 无 5．冷却水电阻率值 : ≤100μs/cm 6．去离子水电阻率： 无 7．进阀水温度 : ≤40℃ 8．出阀水温度 : ≤47℃ 9．冷却水进阀压力 : ≥4.0bar 10．水冷装置设计压力 : 0.6MPa 11．水冷装置测试压力 : 0.8MPa 12．主循环过滤精度 : 200 μm 13．去离子回路过滤精度 : 无 14．冷却介质 : 纯水+乙二醇 15．装机电容量 : 3kW 5.1.2选型说明 主循环水泵 : 一备一用 CHI2-60 二次散热方式 : 水风换热器一套 电加热器：功率见主要设备一览表 控制器 : PLC S7-200 系列，一套 人机界面 : TD200 ，一台 报警要求
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