对于洁净室而言 ,恒定送风量 ,正压控制 ,末端过滤器的选择是达到室内洁净度的关键。采用变频风机送风是比较节能的送风方案 ;调节新、回风比能很好的控制正压末端过滤器的选择与所要达到的洁净度相符
第 7章 潔淨室之空調系統設計與能源消耗分析 7.1 前言 因為電子工業對於潔淨室的需求，再加上潔淨室機器所散發大量的熱量， 需要處理大量的外氣，且全年24小時都再運作的情形下，其所造成的耗能是相 當大的 在此我們就以幾種不同的空調箱及其不同的搭配種類來加以討論。 。 7.2 應用計算實例 某300mm DRAM 廠潔淨室實際設計參數作為案例分析如下 諸元 外氣條件 31℃ DB, RH= 80% 室內條件 23℃ DB, RH= 45% 潔淨室面積 11,182m2 潔淨室高度 3.5m 作業人數 500 循環量 6,543,000CMH 熱排氣 498,120CMH 酸排氣 30,540CMH 鹼排氣 33,5400CMH 有機氣體排氣 59,880CMH 製程設備負載 7,367KW 本廠使用的空調系統構型為抽風式外氣空調箱(MAU) 風機過濾器、 (FFU)以及
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