微电子、光电子产业是国民经济和科学技术的基础,发展迅速,更新换代快,对环境要求严格,初投资高、运行费大,要求安全、可靠、灵活,对这样的洁净厂房,本文提出一些行之有效的方法,供设计参考。
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