洁净度等级标准 ISO 14644 根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室(区)及相关受控环境中空气洁净度的等级,并 且仅考虑粒径限值(低限)在 0.1um~5.0um 范围内呈累积分布的粒子群。 根据粒子径,可以划分为常规粒子( 0.1um~5.0um)、超微粒子(< 0.1um)和宏粒子(> 5.0um)。 空气洁净度分级标准: ISO14644-1 (国际标准) 空气洁净度等级 (N) 大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个 / 每立方米空气粒子) 0.1 um 0.2 um 0.3 um 0.5um 1um 5 um ISO Class 1 10 2 ISO Class 2 100 24 10 4 ISO Class 3 1 000 237 102 35 8 ISO Class 4 10 000 2 370 1 020 352 83 ISO Class 5 100