介绍了硅片加工过程中3种划片方法及划片机国内外发展趋势。对金刚石砂轮刀片进行力学分析,应用有限元分析软件建立砂轮刀片回转模型,得到刀片的应力图。通过仿真得到:砂轮刀片切向应力总是大于径向应力,切向应力的最大值发生在砂轮刀片孔壁处。并且,应用基于特征的实体造型系统Pro/Engineer,建立了划片机划切过程模拟模型。为进一步进行参数化设计打下基础。
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