苏联某加盟共和国科学院超硬材料研究所和赫尔索恩棉纺联合工厂,为降低纺纱断头率,提高钢领表面光洁度为(?)11～(?)12,共同研制成一种用橡胶粘合剂粘合的专用金钢石抛光工具,以及用这种工具抛光新的或经一年使用的细纱钢领的工艺过程。抛光钢领,通常采用水磨抛光。虽然钢领断面复杂,椭园度和不平度的最大允许误
采用金刚石丸片和固结磨料抛光垫两种方式研磨加工硅片,以硅片的材料去除率(MRR)和表面粗糙度(Sa)为指标对金刚石丸片和固结磨料抛光垫的研磨性能进行了评价。结果表明:固结磨料抛光垫研磨硅片的材料去除率高于金刚石丸片;研磨后硅片的表面粗糙度也优于金刚石丸片,且表面粗糙度(Sa)在中部和边缘相差不大。最后分析了研磨硅片的产物-磨屑的形状特征,得出固结磨料抛光垫研磨硅片时的塑性去除量远高于金刚石丸片。
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