采用脉冲激光沉积法(PLD)在10x10mm2的SrTiO3双晶基片上制备了纯c取向的高温超导YBCO薄膜,薄膜表面平整,杂相颗粒少,在20μm尺度范围内,起伏在几个nm之内。通过标准光刻和离子束刻蚀工艺制备出了高温超导垫圈型双晶结dcSQUID磁强计。测试结果表明:磁强计有效面积达0 09mm2,在没有超导屏蔽的环境下,磁强计白噪声区磁场噪声达到333fT/Hz1/2。
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