个人收集整理 仅供参考学习 MEMS 国内外发展状况及我国 MEMS 发展战略的思考 孙立宁 1，周兆英 2，龚振邦 3 (1. 哈尔滨工业大学 机器人研究所，黑龙江 哈尔滨 150001) (2. 清华大学 精密仪器系，北京 100084) (3. 上海大学，上海 200072) 摘要：针对国际 MEMS 发展趋势和未来的产业化前景，结合我国 社会经济发展的需要和国家竞争前的核心技术发展战略，国家科技 部拟将 MEMS 确定为“十五”863计划重大专项。针对这一形势， 在前期 MEMS 发展战略研究的基础上，介绍了 MEMS 国内外发展 状况，并对我国 MEMS 发展的总体目标、主要研究内容、预期成 果和运行机制等问题进行了探讨，以期为开展 MEMS 的研究与开 发提供参考。 关键词：微机电系统（ MEMS）；MEMS 器件；微系统 中 图 分 类 号 ： TP242 文 献 标
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