炉管工艺 引言 IC 行业所用的炉管目前主要是垂直式的（水平式的已经很少用了） ，按使用 压力不同分为常压炉管和低压炉管。常压炉管主要用于热氧化制程，热退火， BPSG热回流，热烘烤，合金等诸方面。 低压炉管则主要用于 LPCVD 沉积工艺， 包括多晶硅的形成，氮化硅的形成， HTO 和 TEOS等；HTO 和 TEOS都是用来 生成二氧化硅的。本篇主要介绍炉管的基本知识及有关工艺。 §1. 常压炉管工艺 硅表面上总是覆盖着一层二氧化硅，即使是刚刚解理的硅，在室温下，只要 在空气中一暴露就会在表面上形成几个原子层的氧化膜。 当我们把硅晶片暴露在 高温且含氧的环境里一段时间之后， 硅晶片的表面会生长 （grow）一层与硅附着 性良好，且具有高度稳定的化学性和电绝缘性的二氧化硅—— SiO2。正因为二氧 化硅具有这样好的性质，它在硅半导体元件中的应用非常广泛。 根据不同的需要， 二氧化硅被用于
西安建筑科技大学 1 电熔刚玉工艺原理、应用及研究现状 摘要：电熔刚玉是氧化铝在电弧炉中熔融后冷却固化的产物，具有工艺简单、流 程短、产品成本低等优点，其晶体结构为 α-Al 2O3。电熔刚玉作为一种高档耐火材 料，具有优良的性能，原料可作为骨料和基质生产不定形耐火材料，熔铸刚玉砖 广泛应用于高温窑炉和高温冶金设备。根据不同的工艺要求可以得到电熔棕刚玉、 电熔亚白刚玉、电熔白刚玉、电熔致密刚玉、和电熔板状刚玉等不同品种的电熔 刚玉。本论文首先介绍了不同品种电熔刚玉的生产工艺流程，其次概括了不同产 品在各个领域的应用现状，最后简要分析了电熔法目前存在的技术问题。 关键词： 电熔刚玉 生产工艺 熔铸刚玉砖 应用 引言 随着近代工业的高速发展 ,石油、化工、冶金、航天航空等工业对耐火材料 (陶 瓷 )的技术要求不断提高 ,其工况要求从原来的高温高强度发展到既要求高温高压 , 又要求具有高抗震性
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