〖 干式泵常识 〗 Q:什么是涡旋干式真空泵? A:不用油类或者液体密封的变容真空泵。 Q:涡旋干式真空泵的特点? A:◇无油、无污染 ◇低噪音、低振动 ◇使用寿命长 ◇空气冷却 ◇配气镇阀、可抽可凝性气体 Q:涡旋干式真空泵的主要用途? A:◇半导体制备设备与处理室抽真空泵; ◇用于液晶注入系统; ◇分子泵真空系统的前级泵; ◇真空密封泵; ◇冷泵前级; ◇用于科学和化学分析仪器; ◇真空发生器; ◇电子显微镜前级泵。 Q:涡旋干式真空泵的主要技术指标? A: 项 目 指 标 型号 DVS-631( 双侧涡旋型无油真空泵 ) 抽气速率 525 L/min (8.75 L/s) 50Hz, 630 L/min (10 L/s) 60Hz. 极限真空度 ≤1Pa( 气镇阀关闭 ),≤2.5Pa( 气镇阀开启 )。 噪音 ≤58dB(50Hz,), ≤60dB(60Hz,) ( 气镇阀关闭